MEMS壓力傳感器理論與技術蔣莊德 9787040604689 【台灣高等教育出版社】

Name: MEMS壓力傳感器理論與技術 蔣莊德 9787040604689 【台灣高等教育出版社】
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書名：MEMS壓力傳感器理論與技術
ISBN：9787040604689
出版社：高等教育
著編譯者：蔣莊德
頁數：xxx
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書號：1556763
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內容簡介
微機電系統(MEMS)具有尺寸微小、片內集成、批量製造、材料寬泛的技術特徵，因而成為先進傳感器技術的主流發展方向。微型化、智能化和網絡化的壓力傳感器在高端裝備、智能製造、機器人、物聯網等新興領域具有很大的應用潛力。本書將作者團隊多年來在該領域的科研積累融為一爐，從相關基礎理論出發，論述了MEMS壓力傳感器的主流工藝、器件靜動態測試、晶元電路等關鍵技術，並詳細討論了多種原創、特種、高端的MEMS壓力傳感器件，對我國MEMS壓力傳感器的科研和產業發展將產生巨大的推動作用。本書適合MEMS及傳感器領域的研究生、高年級本科生以及廣大科研人員閱讀和參考。
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