傳感器與MEMS技術導論 范茂軍著 9787118133998 【台灣高等教育出版社】

內容簡介
本書按照材料、基本概念、專業知識的分類。將說涉及應該簡要講解的內容共寫成12章。內容包括敏感材料和與物理效應，傳感器的分類、特性與建模模擬，力、扭矩與慣性傳感器原理與結構設計，熱工量中壓力、流量、溫度的測量與傳感器原理與結構設計，光、輻射與圖像傳感器原理與結構設計，磁學傳感器原理與結構設計，聲學量傳感器原理與結構設計，化學、電化學與氣體傳感器原理與結構設計，生物與離子傳感器原理與結構設計，機器人傳感器原理與結構設計，微系統MEMS工藝技術與封裝及可靠性，傳感器與微系統的典型應用。
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