超硬材料薄膜的製備、性能與應用 王光祖 9787564587826 【台灣高等教育出版社】

內容簡介
《超硬材料薄膜的製備、性能與應用》由概論、性能及其影響因素、製備技術的多樣性、工程與功能應用、納米金剛石薄膜、類金剛石塗層、金剛石薄膜的特性表徵與測試技術、理論模型與機制研究、立方氮化硼薄膜和總結與展望十個部分所構成。比如：金剛石薄膜的性能有金剛石薄膜的力學性能、金剛石薄膜的電學性能、金剛石薄膜的熱學性能、金剛石薄膜的光學性能，影響金剛石薄膜的因素有摻硼對金剛石薄膜的影響、沉積氣壓對類金剛石膜的影響、ECR等離子體刻蝕CVD對薄膜形貌的影響、氬氣流量對等離子體噴射法製備的金剛石膜形核的影響等。本書力求全面、系統，是一部眾多行業研究者們在研發、生產實踐中所取得的豐碩理論與實際經驗和智慧之大成，能反映當今科研、生產最好新水平之作。
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