薄膜材料科學與技術 劉仲武 9787122456144 【台灣高等教育出版社】

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物品所在地:中國大陸
原出版社:化學工業
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書名:薄膜材料科學與技術
ISBN:9787122456144
出版社:化學工業
著編譯者:劉仲武
頁數:350
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1688868
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內容簡介

《薄膜材料科學與技術》是教育部高等學校材料類專業教學指導委員會規劃教材,全面地介紹了薄膜材料的基本概念、薄膜製備技術、薄膜生長機理、薄膜加工技術以及薄膜分析技術。在簡要地闡述薄膜材料基本特點的基礎上,首先介紹了與薄膜表徵和分析密切相關的真空技術和等離子體技術;詳細闡述了薄膜材料的製備方法,包括薄膜製備的液相方法、薄膜物理氣相沉積技術、薄膜的熱氧化與化學氣相沉積技術、薄膜旋塗和噴塗技術,涉及各種製備方法的基本原理、製備設備和製備工藝;分析了氣相沉積薄膜材料的生長機制、薄膜的生長過程及其影響因素,介紹了薄膜的外延生長技術;隨後進一步介紹了薄膜的微細加工技術,特別是薄膜刻蝕技術;最後,系統闡述了薄膜的表徵和分析方法,包括薄膜的厚度控制與測量、成分表徵、結構表徵、原子化學鍵表徵、表面形貌與微觀組織分析以及薄膜材料性能分析。 本書不僅具有一定的理論參考價值,也具有較為廣泛的應用參考價值,既可作為高等院校材料類及相關專業的本科生、研究生教學用書,也可作為薄膜材料專業科技人員的參考書。

目錄

第一章 緒論
第一節 薄膜的定義
第二節 薄膜的特點與結構
一、薄膜材料的表面效應
二、薄膜材料的納米效應
三、薄膜材料的應力
四、薄膜的結構
五、薄膜中的缺陷
六、薄膜的異常結構、非理想化學計量比和偽合金
第三節 薄膜製備方法
第四節 薄膜材料的應用
本章小結
思考題
參考文獻
第二章 薄膜製備技術基礎
第一節 真空的基本概念
一、真空的描述
二、氣體的吸附與脫附
第二節 抽真空與真空泵
一、真空泵的分類與選擇
二、真空泵的基本參數
三、真空泵的類型
第三節 氣體分子的運動和氣體的流動
一、氣體分子的平均自由程
二、氣體與表面的碰撞
三、氣體的流動狀態
四、抽氣和抽氣方程
第四節 真空的測量
一、真空計的分類
二、熱傳導真空計
三、電離真空計
第五節 等離子體技術基礎
一、等離子體基本概念
二、等離子體的基本參量
三、等離子體的分類
四、等離子體的產生
五、等離子體的應用
第六節 薄膜液相沉積基礎
一、液相法製備薄膜材料
二、相變過程熱力學
三、晶核形成條件
四、相變過程動力學
本章小結
思考題
參考文獻
第三章 薄膜製備的液相方法
第一節 電鍍
一、電鍍的基本原理
二、電鍍的工藝參數
三、電鍍製備薄膜的應用
第二節 化學鍍
一、化學鍍的基本原理
二、化學鍍的工藝參數
三、化學鍍製備薄膜的應用
第三節 陽極氧化
一、陽極氧化的基本原理
二、陽極氧化的工藝參數
三、陽極氧化製備薄膜的應用
第四節 電泳
一、電泳的基本原理
二、電泳的工藝參數
三、電泳製備薄膜的應用
第五節 溶膠凝膠法
一、溶膠凝膠法的基本過程
二、溶膠凝膠法的基本原理
三、溶膠凝膠法的工藝參數
四、溶膠凝膠法製備薄膜的應用
第六節 噴霧熱解法
一、噴霧熱解法的基本過程
二、噴霧熱解法的基本原理
三、噴霧熱解法的工藝參數
四、噴霧熱解法製備薄膜的應用
本章小結
思考題
參考文獻
第四章 薄膜物理氣相沉積技術
第一節 物理氣相沉積簡介
一、物理氣相沉積的基本過程與分類
二、物理氣相沉積的特點
三、物理氣相沉積技術的應用
第二節 真空蒸發沉積技術
一、真空蒸發沉積的物理原理
二、不同的真空蒸發沉積技術
第三節 濺射沉積技術
一、濺射沉積基本原理
二、不同的濺射沉積技術
三、蒸發沉積和濺射沉積方法的比較
第四節 離子束輔助物理氣相沉積技術
一、離子束濺射
二、離子束沉積
三、離子鍍
四、陰極電弧等離子體沉積
五、離子束輔助沉積
本章小結
思考題
參考文獻
第五章 薄膜的熱氧化與化學氣相沉積技術
第一節 熱氧化生長
一、熱氧化生長製備SiO2薄膜
二、熱氧化生長製備Bi2O3薄膜
三、熱氧化生長製備氧化物納米結構
第二節 化學氣相沉積技術基礎
一、化學氣相沉積基本要求
二、化學氣相沉積基本過程
三、物質源
四、化學氣相沉積反應類型
五、化學氣相沉積裝置
六、化學氣相沉積膜層質量的主要影響因素
七、化學氣相沉積的特點與應用
第三節 常見的化學氣相沉積技術
一、化學氣相沉積技術分類
二、以反應室壓力分類的化學氣相沉積技術
三、以反應溫度分類的化學氣相沉積技術
四、以激活方式分類的化學氣相沉積技術
五、金屬有機化合物化學氣相沉積技術
本章小結
思考題
參考文獻
第六章 薄膜旋塗和噴塗技術
第一節 旋塗技術
一、旋塗的基本過程
二、旋塗的理論模型
三、旋塗的分類
四、旋塗技術的應用
第二節 熱噴塗技術
一、熱噴塗的基本過程
二、熱噴塗材料
三、熱噴塗的分類
四、熱噴塗技術的應用
第三節 冷噴塗技術
一、冷噴塗的基本過程
二、冷噴塗的理論模型
三、冷噴塗的工藝參數
四、冷噴塗的分類
五、冷噴塗技術的應用
本章小結
思考題
參考文獻
第七章 氣相沉積薄膜生長機制
第一節 凝聚
一、吸附
二、表面擴散
三、最終凝聚
第二節 薄膜的形核
一、均勻形核理論
二、原子聚集理論
三、兩種成核理論的對比
第三節 薄膜的生長
一、連續薄膜的形成過程
二、沉積參數的影響
三、薄膜生長模式
四、薄膜中缺陷及內應力的產生
五、薄膜形成過程的計算機模擬
第四節 薄膜的外延生長
一、外延生長機理
二、外延生長形式
三、分子束外延
四、液相外延
五、熱壁外延
六、金屬有機化合物化學氣相沉積外延生長
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