氣體與濕度傳感器MEMS技術及應用 汪飛等 9787118134032 【台灣高等教育出版社】

內容簡介
本分冊為叢書的專業分冊，本分冊重點講述氣體和濕度傳感器設計製作的基本原理、方法及其應用。全書將氣體和濕度傳感技術分為三個方面：基礎原理、器件分類以及微系統應用。本書首先闡述了氣體和濕度傳感器的基本概念，包括工作原理與結構、主要性能參數、機理研究方法等；結合前沿研究進展介紹了氣體和濕度敏感材料的合成方法與表徵技術，以及不同納米結構的敏感效應；從表面加工工藝與體硅加工工藝兩方面介紹了氣體和濕度傳感器的關鍵MEMS工藝；在此基礎上分類介紹了多種氣體及濕度傳感器包括半導體原理、電化學原理、光學原理等，針對每種器件從基礎原理、結構特點、工藝與性能參數等方面展開了詳細介紹；最後結合國防應用特點，列舉了氣體和濕度傳感器在航空航天、地面武裝及海洋裝備等領域的應用實例。
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