射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩定性研究 賀柳良 9787577208121 【台灣高等教育出版社】

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書名:射頻空心陰極放電特性及其條紋不穩定性研究
ISBN:9787577208121
出版社:華中科技大學
著編譯者:賀柳良
頁數:122
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1642757
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內容簡介

本書主要內容包括如下幾個部分:(1)射頻空心陰極放電中HCE的變化規律及放電參數對HCE的影響;(2)射頻空心陰極孔外等離子體密度增強機理及其影響因素;(3)射頻空心陰極放電中等離子體不均勻、不穩定的現象——發光條紋。本書具有專業性、系統性、獨創性、指導性這幾個特點。本書非常適合作為低溫等離子體物理領域的研究生及科研人員的參考用書。

目錄

第1章 緒論
1 1 研究背景和意義
1 2 射頻空心陰極放電的研究進展
1 3 氣體放電中的條紋研究
1 4 研究內容與安排
第2章 PIC/MCC數值模擬方法
2 1 概述
2 2 PIC方法
2 3 MCC模型
2 4 碰撞后速度的確定
2 5 結構模型
第3章 RF-HCD中的空心陰極效應
3 1 RF-HCD中HCE的一般特性
3 2 HCE的影響因素
3 3 討論
3 4 本章小結
第4章 RF-HCD中的孔外等離子體增強效應
4 1 RF-HCD中的孔外增強放電
4 2 孔外等離子體密度的影響因素
4 3 討論
4 4 本章小結
第5章 RF-HCD中的條紋現象
5 1 實驗裝置
5 2 低氣壓下RF-HCD中的條紋
5 3 放電參數對條紋的影響
5 4 條紋化通道的電場及其與條紋間距△S的關係
5 5 RF-CCP條紋的機理
5 6 本章小結
第6章 總結和展望
6 1 主要工作和結論
6 2 主要創新性成果
6 3 工作展望
參考文獻
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