原子層沉積製造技術及生物傳感應用劉磊 9787122451248 【台灣高等教育出版社】

Name: 原子層沉積製造技術及生物傳感應用 劉磊 9787122451248 【台灣高等教育出版社】
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書名：原子層沉積製造技術及生物傳感應用
ISBN：9787122451248
出版社：化學工業
著編譯者：劉磊
頁數：224
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書號：1625071
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內容簡介

本書系統介紹了原子層沉積技術原理及生物感測應用，共分7章，主要內容包括原子層沉積（ALD）技術的基本原理、特點、系統和工作模式，聚焦于ALD技術的拓展，涉及了ALD在摩擦、電磁、雜訊、量子和生物感測器領域的應用，重點介紹該技術在生物醫學檢測領域的前沿發展，在闡明ALD技術基本原理的同時，介紹其在前沿領域的先進性和實際應用。本書可供微納製造與感測檢測等領域的技術工作者閱讀使用，也可作為高等院校相關專業師生的參考書。

1 原子層沉積（ALD）概述
1 1 原子層沉積技術原理
1 2 原子層沉積技術的特點
1 3 原子層沉積系統
1 3 1 橫向流動式
1 3 2 垂直流動式
1 3 3 徑向流動式
1 4 原子層沉積材料
參考文獻
2 原子層沉積技術拓展
2 1 多金屬源共饋ALD
2 1 1 多金屬源共饋ALD原理
2 1 2 多金屬源共饋ALD系統
2 1 3 多金屬源共饋ALD沉積異質結構
2 2 等離子體增強ALD技術
2 2 1 多金屬源共饋ALD原理
2 2 2 等離子體增強ALD的特點
2 2 3 等離子體增強ALD系統
2 2 4 等離子體增強ALD沉積材料
2 3 區域選擇性ALD
2 3 1 多金屬源共饋ALD原理
2 3 2 區域選擇性ALD分類
2 3 3 流化床式ALD原理
2 3 4 流化床式ALD分類
2 4 空間ALD
2 5 電化學ALD
2 6 多功能ALD
參考文獻
3 ALD應用於表界面性能調控
3 1 ALD應用於微納表界面性能調控概述
3 2 ALD應用於表面摩擦性能調控
3 2 1 調控薄膜厚度
3 2 2 調控薄膜微結構
3 2 3 調控薄膜形貌
3 3 ALD應用於電磁特性調控
3 3 1 電磁屏蔽結構的ALD製造與調控
3 3 2 電磁特性調控
3 3 3 吸波和屏蔽機理
3 4 ALD應用於感測雜訊調控
3 4 1 氮化硅表面修飾和氧化鋁納米孔的ALD製造與調控
3 4 2 氮化硅與氧化鋁納米孔DNA分子檢測
3 5 ALD應用於NV色心量子特性調控
3 5 1 NV色心簡介
3 5 2 TiO2塗層對NV色心光學特性調控
3 5 3 MoS2薄膜對NV色心光學特性調控
參考文獻
4 ALD應用於表面增強拉曼散射調控
4 1 表面增強拉曼散射（SERS）概述
4 2 SERS感測器熱點的ALD製造與調控
4 2 1 SERS熱點的可控製造
4 2 2 SERS增強機制
4 2 3 SERS性能分析
4 3 SERS感測器生物檢測應用
4 3 1 SERS生物感測器構築
4 3 2 SERS生物感測應用驗證
參考文獻
5 ALD應用於電化學生物感測器
5 1 電化學（EC）生物感測器概述
5 2 MoS2薄膜的ALD製造與調控
5 2 1 高比表面積薄膜的可控製造
5 2 2 感測機理
5 2 3 MoS2薄膜生物感測應用驗證
5 3 MoS2納米管的ALD製造與調控
5 3 1 MoS2納米管可控製造
5 3 2 感測機理
5 3 3 MoS2納米管生物感測應用驗證
參考文獻
6 ALD應用於光電化學生物感測器
6 1 光電化學（PEC）生物感測器概述
6 2 光響應納米通道的ALD製造與調控
6 2 1 光響應納米通道可控製造
6 2 2 光響應通道電流傳輸調控
6 2 3 光響應納米通道生物感測器應用驗證
6 3 Pt/MoS2納米管的ALD製造與調控
6 3 1 Pt/MoS2納米管可控製造
6 3 2 單原子分佈催化調控
6 3 3 Pt/MoS2納米管?反應生物感測應用驗證
6 4 MoS2/ReS2異質結的ALD製造與調控
6 4 1 MoS2/ReS2異質結可控製造
6 4 2 MoS2/ReS2異質結的PEC性能調控
6 4 3 MoS2/ReS2異質結生物感測應用驗證
參考文獻
7 ALD應用於場效應管生物感測器
7 1 場效應管（FET）生物感測器概述
7 2 ReS2-MoS2異質結納米管的ALD製造與調控
7 2 1 MoS2納米管的可控製造
7 2 2 ReS2-MoS2超晶格納米管的可控製造
7 2 3 生物感測器構築
7 2 4 ReS2-MoS2超晶格納米管生物感測應用驗證
7 3 SWCNTs/MoS2複合薄膜的ALD製造與調控
7 3 1 SWCNTs/MoS2薄膜可控製造
7 3 2 生物感測器構築
7 3 3 SWCNTs/MoS2生物感測應用驗證
7 4 C60/MoS2薄膜的ALD製造與調控
7 4 1 C60/MoS2薄膜可控製造
7 4 2 生物感測器構築
7 4 3 C60/MoS2生物感測應用驗證
參考文獻
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