超低損耗激光薄膜技術 劉華松 季一勤 王佔山等 9787118136340 【台灣高等教育出版社】

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書名：超低損耗激光薄膜技術
ISBN：9787118136340
出版社：國防工業
著編譯者：劉華松 季一勤 王佔山等
頁數：xxx
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1732210
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內容簡介
本書從薄膜設計、製備、表徵、應用四個方面自成體系，論述了薄膜材料光學常數表徵、基於製造誤差的低損耗多層膜設計、基於能帶和缺陷誘導吸收損耗控制、散射損耗的控制以及低壓放電等離子誘導薄膜性能退化等問題。全書涵蓋了薄膜材料的基本特性、超低損耗薄膜的設計、薄膜吸收與散射損耗的調控、總損耗的測試與表徵以及超低損耗激光薄膜的應用等內容。

作者簡介
劉華松（1980-），男，理學博士，博士後，研究員，現任八三五八研究所 光學薄膜與材料技術研究室主任，天津市薄膜光學重點實驗室副主任，八三五八研究所科學技術委員會光學專業技術組長，光學薄膜設計與製造專業主任研究師。

目錄

第1章 超低損耗激光薄膜技術背景1 1 超低損耗激光薄膜技術的應用背景1 1 1激光陀螺慣性導航器件1 1 2引力波探測科學裝置1 2超低損耗激光薄膜技術發展歷程1 2 1超低損耗激光薄膜的設計1 2 2超低損耗激光薄膜的損耗控制1 2 3超低損耗激光薄膜製備技術1 2 4超低損耗激光薄膜材料技術1 2 5超低損耗激光薄膜測試與表徵技術1 3 外超低損耗激光薄膜性能1 3 1國外報道的超低損耗薄膜性能1 3 2 報道的超低損耗薄膜性能第2章 超低損耗激光薄膜理論與技術2 1超低損耗薄膜基本理論2 1 1薄膜基本設計理論2 1 2薄膜的吸收理論 2 1 3薄膜散射理論2 2離子束沉積製備技術2 2 1離子束濺射的基本原理2 2 2離子束濺射主要製備參數的選擇2 3薄膜常規特性表徵技術2 3 1分光光譜性能表徵 2 3 2橢偏光譜性能表徵2 3 3膜層表面形貌的表徵技術2 3 4膜層應力表徵技術 2 3 5膜層結構的表徵技術2 4積分散射與超低透射損耗的表徵 2 4 1積分散射的測試裝置2 4 2超低透射率的測試裝置2 5弱吸收損耗的表徵技術2 6低損耗激光薄膜的實驗方法第3章 低損耗薄膜材料的光學常數研究3 1引言 3 2 典型的光學常數反演方法 3 2 1極值包絡線法 3 2 2全光譜擬合方法 3 2 3上述兩種方法的對比結果 3 3光譜測試與表徵問題 3 3 1薄膜光譜特性的表徵方法 3 3 2光譜透射率測試的優化 3 4光學常數反演的兩個問題 3 4 1基底-薄膜系統的贗布儒斯特角 3 4 2光譜數據點選擇問題 3 5光學常數反演合理性與誤差 3 5 1單層膜反演光學常數物理模型合理性 3 5 2橢偏光譜反解光學常數的光斑效應
第4章 低損耗激光多層膜薄膜的設計4 1超高反射率多層薄膜設計 4 1 1多層膜的週期結構特點 4 1 2膜層具有折射率色散的多層膜設計 4 1 3傾斜入射高反射多層膜的設計 4 2超低剩餘反射薄膜設計 4 2 1減反射薄膜的基本結構 4 2 2界面層對激光減反膜的影響研究 4 2 3含有亞表面損傷層的超低剩餘反射率薄膜設計 4 2 4含有折射率非均質性的減反射薄膜設計
第5章 低損耗薄膜吸收損耗控制5 1吸收損耗的控制設計 5 2 金屬氧化物薄膜材料的能帶控制吸收損耗 5 2 1Ta2O5薄膜材料的能帶結構控制 5 2 2HfO2薄膜材料的能帶結構控制 5 3基於熱處理的金屬氧化物薄膜吸收損耗控制 5 3 1基於後處理的Ta2O5薄膜材料損耗控制 5 3 2基於後處理的HfO2薄膜材料損耗控制 5 4基於熱等靜壓熱處理的金屬氧化物薄膜後處理 5 4 1Ta2O5薄膜材料熱等靜壓處理 5 4 2HfO2薄膜材料熱等靜壓處理 5 5SiO2薄膜缺陷誘導吸收損耗 5 5 1全譜段SiO2薄膜材料的光學常數 5 5 2SiO2薄膜材料本征微結構特性 5 5 3SiO2薄膜製備參數與特性關聯性 5 5 4基於氧氣流量的SiO2薄膜特性研究 5 5 5SiO2薄膜極低消光係數的表徵方法
第6章 低損耗多層膜散射損耗控制6 1高反射薄膜散射的數值研究 6 2基底超光滑表面加工 6 2 1表面加工的基本流程 6 2 2工件的研磨和預拋光 6 2 3瀝青拋光模對超光滑表面的影響 6 2 4拋光液對超光滑表面的影響 6 2 5超光滑表面的加工結果 6 3亞表面的機制與評價 6 3 1亞表面產生的機制 6 3 2亞表面損傷層的測試方法 6 3 3亞表面損傷層的討論 6 4基底表面處理與多層膜界面處理 6 4 1基板表面散射缺陷源處理 6 4 2多層膜界面的散射處理
第7章 超低損耗激光多層膜性能表徵技術7 1多層膜總損耗表徵技術 7 1 1腔衰減振盪方法的原理 7 1 2諧振腔反射鏡的定標問題 7 1 3超低損耗薄膜的測試方法 7 1 4超低損耗薄膜的誤差問題 7 2低損耗多層膜的測試表徵結果 7 2 1超低損耗高反射薄膜測試結果 7 2 2超低損耗減反射薄膜測試結果
第8章 低壓放電等離子體誘導薄膜性能退化機制8 1引言 8 2低壓放電等離子體特性 8 2 1氣體放電的光譜能級 8 2 2等離子溫度的表徵方法 8 2 3激光陀螺放電特性實驗 8 3薄膜的低能電子輻照效應 8 3 1電子輻照效應的物理機制 8 3 2介電常數方程的修正 8 3 3電子輻照-薄膜響應方程 8 4薄膜損傷增強的設計方法 8 4 1電子損傷的低損耗多層膜仿真計算 8 4 2低損耗多層膜電子損傷的分析 8 5 小結

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