大話晶元製造-從工廠.製造.工藝.材料到行業戰略菊地正典 9787111755319 【台灣高等教育出版社】

Name: 大話晶元製造-從工廠.製造.工藝.材料到行業戰略 菊地正典 9787111755319 【台灣高等教育出版社】
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書名：大話晶元製造-從工廠.製造.工藝.材料到行業戰略
ISBN：9787111755319
出版社：機械工業
著編譯者：菊地正典
頁數：187
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1681249
可大量預訂，請先連絡。

內容簡介

本書是一本關於半導體晶元製造全景的入門書。本書以輕鬆有趣的風格全面講解晶元製造工廠的基礎設施、設備、相關製造工藝、原理、材料、檢驗等相關信息，從科普到深入的「工廠」視角，沉浸式講解晶元製造產業，讀者不僅可以從傳統角度理解半導體晶元，還可以從人、產品、資金和產業的角度全面理解半導體晶元。關於晶元製造工廠的知識不僅值得相關行業的人員學習，也可以作為其他行業的人員在製造方面的參考。本書適合集成電路行業的從業者、研究者、相關專業師生和感興趣的大眾讀者閱讀。

作者簡介

菊地正典，1968年畢業於東京大學工學部物理系。就職于日本電器株式會社后，一直從事半導體設備、製作工藝的開發。有了半導體開發和生產的經驗之後，擔任同一公司的半導體事業組主席技師長，NEC電設備主席技師長。從2002年起擔任社團法人、日本半導體製造裝置協會專業理事，2007年起任株式會社半導體能源研究所顧問。著作有《電學入門》、《最新半導體詳解》、《圖解電子電路》、《簡明半導體》、《半導體用語辭典》（合著）（日本實業出版社）等。

譯者序
原書前言
第1章漫遊半導體工廠
1 1 鳥瞰半導體工廠：廠房、辦公樓、工廠周邊配電設備以及儲罐
1 2 工藝總檢查：從擴散工藝到檢驗鑒別工藝
1 3 組織人事結構：廠長以下設立生產技術部和設備技術部
1 4 工廠的選址：水、電、高速公路，還有其他必須條件
1 5 擁有變電站的半導體工廠：各種各樣的防停電措施
1 6 藥液、氣體的供給及排放系統：從空氣中提取大量氮氣
行業知識：半導體公司命名的逸聞趣事
第2章集成電路製造過程
2 1 什麼是半導體：一半導電的導體
2 2 IC晶元的製造過程
2 3 前道工序（1）：基板工藝（FEOL），在晶圓上構建電子元素
2 4 前道工序（2）：布線工藝（BEOL），電子元素間的金屬布線
2 5 晶圓：純度提煉到11個
2 6 薄膜的製造及形成：多層薄膜的疊加
2 7 電路如何進行光刻：電路圖案的光刻
2 8 刻蝕工藝的形狀加工：加工材料薄膜
2 9 純度99 9 的晶圓中加入雜質：故意加入雜質的原因
2 10 晶圓的熱處理：熱處理的目的及主要工藝
2 11 使表面平坦化的化學機械拋光（CMP）工藝
第3章揭秘IC晶元製造中不常被提及的工藝
3 1 通過清洗徹底清除塵埃：化學分解和物理分解
3 2 清洗后「沖洗→乾燥」：用超純水沖洗，然後再去除水分
3 3 布線使用鑲嵌技術：鑲嵌工藝的關鍵是金屬鑲嵌
3 4 IC晶元全數檢驗：晶圓檢驗工藝的確認方法
3 5 為保險起見引入冗餘電路：緊急情況下備用存儲器的構成
3 6 分割晶元的切割設備：切割精度為頭髮絲直徑的
3 7 框架內貼片：封裝位置的精確作業
3 8 金線的引線鍵合：在0 01s內完成的操作
3 9 引線的表面處理：外部電鍍，增加強度，防止生鏽
3 10 保護晶元的封裝：防止氣體、液體的滲入
3 11 引線引腳的加工成形：根據封裝形狀加工
3 12 用於晶元識別的激光打標：標註製造的時間、地點和方式
行業知識：晶圓製造商和電子設計自動化（EDA）供應商
第4章了解原材料、機械和設備
4 1 為何進口硅：和生產鋁一樣是電力消耗大戶
4 2 工廠引進設備的整個步驟：設備製造商經驗的積累
4 3 同樣的設備製造出的是同一IC晶元？無數種組合里優化參數
4 4 IC晶元的成本率：月產量為2萬片的工廠需要投資3000億日元（約人民幣150億元）
4 5 原材料的保質期參差不齊：藥液因為溫度、濕度的不同產生細微的變化
4 6 晶圓的邊緣部分為何不能用：周邊除外（EdgeExclusion）
4 7 超純水因工廠而異，因產品而異：從水源到超純水的生產過程
4 8 超純水的純度：沒有統一的標準
4 9藥液、氣體的純度：2N5表示「99 5 %」
4 10 計算設備的使用率：設備有效使用率
4 11 硅烷氣體屬於可自燃的危險物：因半導體產業的發展而被廣泛應用
4 12 半導體工廠也會發生氫氣爆炸：核電站和半導體工廠的相似點
4 13 光刻技術是細微化加工的核心技術：電路圖案的複製
4 14 整批處理到單片處理：有利於細微化加工的單片處理
4 15 加熱處理採用快速熱處理：追求短時間的熱處理
行業知識：超純水、光刻膠、掩模的主要製造商
第5章在檢驗中如何發現問題以及如何出貨
5 1 如何發現次品：檢驗工藝的原則是全數檢查
5 2 封裝前出貨的晶元（KGD）：多層晶元封裝（MCP）必需的裸片
5 3 IC晶元的樣品：從開發到量產的樣品種類
5 4 可靠性測試和篩選：通過加速實驗估計壽命
5 5 同樣規格但運行速度不同：檢驗工藝分類出優質的大規模集成電路（LSI）
5 6 IC晶元出貨、包裝的注意點：客戶出貨時的三種包裝箱
5 7 半導體的銷售與直銷：半導體經銷商即銷售代理
5 8 對投訴的處理促進晶元的改善：通過回顧製造過程進行調查
第6章必須知道的工廠禁令和規則
6 1 半導體製造廠的倒班輪休制度：1年365天每天24小時連續生產
6 2 機器人和線軌搬運：減少人為錯誤，提高效率
6 3 設備編號分組管理：精密機械存在個體差異
6 4 塵埃引起IC晶元故障：多大的塵埃會引起故障
6 5 計算機集成製造（CIM）的三大作用：對生產效率和質量的提高
6 6 運用統計學實施工程管理：確保產品質量的穩定
6 7 趨勢管理捕捉異常跡象：統計工程管理（SPC）法
6 8 工業廢料的處理責任歸於製造公司：非法傾倒會損害公司聲譽
6 9 無塵室的清潔度：日本產業標準（JIS）的1∼9級
6 10 無塵室的進入規則：輕輕拍打全身，身體轉兩三圈
6 11 無塵室的構造和使用：整體式和隔間式
6 12 「局部無塵」戰略：降低無塵室成本的智慧
6 13 無塵室是「太空實驗室」：黃色照明與特殊書寫工具
6 14 工期上的「特快」「普快」和「慢車」：不同製造周期的產品混合生產
行業知識：無塵室的相關企業
第7章勞動者的心聲：工廠因人而充滿活力
7 1 誕生於吸煙室的創意：獨特氛圍的「異次元」空間
7 2 原則上「禁止」參觀工廠：必須簽署
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