丁衡高院士微米納米技術文集丁衡高 9787515923772 【台灣高等教育出版社】

Name: 丁衡高院士微米納米技術文集 丁衡高 9787515923772 【台灣高等教育出版社】
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書名：丁衡高院士微米納米技術文集
ISBN：9787515923772
出版社：中國宇航
著編譯者：丁衡高
頁數：530
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1681326
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內容簡介

本書綜合介紹了微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術，電子束曝光技術，聚焦離子束加工技術，X射線曝光技術，各種刻蝕技術和微納米尺度的複製技術。內容的編排上遵循了微納米加工的從光刻製圖到刻蝕與圖形轉移的基本步驟。對各種加工技術的介紹著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明了各種工藝條件的由來，並注意給出典型工藝參數。充分分析了各種技術的優缺點，及在應用過程中的注意事項。強調實用，避免煩惱的數學計算。並用專門一章介紹了微納米加工技術在現代高新技術領域的應用，包括超大規模集成電路技術，納米電子技術，光電子技術，高密度磁存儲技術，微機電系統技術，生物晶元技術和納米技術。

作者簡介

丁衡高，院士，慣性技術和精密機械專家，是中國戰略導彈慣性技術奠基人之一，中國慣性技術學科發展的主要推動者，國家微米納米技術倡導人。1931年2月3日出生，江蘇省南京市人。1952年畢業於南京大學機械系，1961年獲蘇聯列寧格勒精密機械光學學院技術科學副博士學位。歷任有關研究室、研究所技術負責人，國防科工委科技部副部長，國防科工委主任。現任中國慣性技術學會名譽理事長、中國微米納米技術學會名譽理事長，1994年遴選為中國工程院首批院士。自1961年起，長期從事制導武器的陀螺儀、加速度計、慣性平台系統等的研製工作。突破了氣浮軸承等慣性器件的關鍵技術，成功地應用於多種戰略導彈、運載工具及多種測試設備，獲全國科學大會獎及國防科技重大成果一等獎。負責潛地固體戰略導彈的液浮慣導系統的研製與生產，獲國家科技進步獎特等獎。曾獲何梁何利科學與技術進步獎及國家863計劃特殊貢獻獎。1988年被授予中將軍銜，1994年晉陞為上將軍銜。中國共產黨中央委員會第十二屆中央候補委員，第十三屆、十四屆中央委員，全國政協第九屆常委。

發展戰略研究
面向21世紀的軍民兩用技術——微米/納米技術（1995年6月）
微型慣性測量組合（1996年2月）
微機電系統的科學研究與技術開發（1997年9月）
微小衛星應用微小型技術有關問題的思考（1997年11月）
微系統與微米/納米技術及其發展（2000年5月）
MEMS技術發展戰略研究中需考慮的幾個主要問題（2000年）
關於微米/納米技術的認識與思考（2000年12月）
微米/納米技術當前發展動向（2001年10月）
抓住機遇，促進微米納米技術新發展（2003年2月）
微納技術進展、趨勢與建議（2006年12月）
微米納米科學技術發展及產業化啟示（2007年12月）
MEMS器件研製與產業化（2009年10月）
在「MEMS在機械與運載工程領域的應用研究」諮詢項目啟動會上的講話（2012年5月）
三十年不斷發展的MEMS慣性感測器（2023年10月）
科學技術綜述
微型慣性測量組合的關鍵技術（1996年2月）
微機電系統技術的實際應用——微型儀器（2000年4月）
微慣性儀錶技術的研究與發展（2001年12月）
《微納米加工技術及其應用》序（2004年12月）
微型化陀螺研究進展和展望（2005年9月）
《微納系統》譯叢總序（2012年6月）
微納電極陣等離子體微系統（2024年5月）
科學技術研究
叉指式硅微加速度計的結構設計（1998年11月）
微型光學陀螺儀中聲表面波聲光移頻器的研究（1999年2月）
一種微型隧道效應磁強計的設計（2000年8月）
Investigation of the System Configuration for Micro Optic Gvros （2005年）
A MEMS Hybrid Inertial Sensor Based on Convection Heat Transfer （2005年6月）
Micromachined GaS Inertial Sensor Based on Convection Heat Transfer （2006年1月）
靜電懸浮微機械加速度計設計（2007年2月）
A Study of Cross——axis Effect for Micromachined Thermal Gas Inertial Sensor （2007年）
Sensor Fusion Methodology to Overcome Cross——Axis Problem for Micromachined Thermal Gas Inertial Sensor （2009年）
Modeling and Experimental Study on Characterization of Micromachined Thermal Gas Inertial Sensors （2010年）
A Micromachined Integrated Gyroscope and Accelerometer Based on Gas Thermal Expansion （2013年）
A Micromachined Gas Inertial Sensor Based on Thermal Expansion （2014年）
A Temperature Compensation Method for Micromachined Thermal Gas Gyroscope （2015年）
Thermal Characteristics of Stabilization Effects Induced by Nanostructures in Plasma Heat Source Interacting with Ice Blocks（2022年）
Reconfigurable Plasma Composite Absorber Coupled with Pixelated Frequency Selective Surface Generated by FD CGAN （
年12月）
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