微納製造與微機電系統 李經民 9787030793584 【台灣高等教育出版社】
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物品所在地：中國大陸
原出版社：科學
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| *完成訂單後正常情形下約兩周可抵台。 *本賣場提供之資訊僅供參考，以到貨標的為正確資訊。 印行年月：202408*若逾兩年請先於私訊洽詢存貨情況，謝謝。 台灣(台北市)在地出版社，每筆交易均開具統一發票，祝您中獎最高1000萬元。 書名：微納製造與微機電系統 ISBN：9787030793584 出版社：科學 著編譯者：李經民 頁數：281 所在地：中國大陸 *此為代購商品 書號：1678240 可大量預訂，請先連絡。 內容簡介 本書體系嚴密，深入淺出，將基本概念、工藝技術、典型器件和系統應用相結合，使讀者能夠全面地理解和掌握微納製造與微機電系統相關知識。全書共8章，第1章概述MEMS的定義、特點、製造技術、發展歷程與未來發展趨勢；第2、3章分別介紹體硅和表面微加工技術的原理、流程、常見問題與解決方法；第4章闡述近年來體硅和表面硅工藝在MEMS器件製造方面的應用；第5章介紹LIGA／准LIGA技術；第6章介紹MEMS微感測器；第7章介紹MEMS微執行器；第8章介紹MEMS技術在生物醫學、軍事安全、遠程通信以及航空航天等領域的典型應用案例。 本書可作為高等院校機械工程、儀器科學與技術、電子科學與技術、物理學等專業本科生和研究生的學慣用書，也可作為從事微納製造和微機電系統研製相關工作科研人員的參考用書。目錄 前言第1章 微機電系統概述 1 1 微機電系統定義 1 2 微機電系統主要特點 1 3 微機電系統製造技術 1 4 微機電系統發展歷程與未來發展趨勢 1 4 1 發展歷程 1 4 2 未來發展趨勢 1 5 本書的主要結構與內容 複習思考題 參考文獻 第2章 體硅微加工技術 2 1 硅的分類 2 2 單晶硅 2 3 單晶硅的製備 2 3 1 直拉法 2 3 2 區熔法 2 3 3 直拉法和區熔法比較 2 4 晶圓片的製備 2 5 晶圓片預處理 2 5 1 清洗 2 5 2 氧化 2 5 3 擴散和離子注入 2 6 光刻技術 2 6 1 光刻膠 2 6 2 掩膜版 2 6 3 光刻機 2 6 4 光刻工藝流程 2 6 5 旋轉塗膠工藝分析 2 6 6 曝光方式 2 7 濕法腐蝕 2 7 1 各向同性濕法腐蝕 2 7 2 各向異性濕法腐蝕 2 8 干法刻蝕 2 8 1 反應離子刻蝕裝置及原理 2 8 2 評價刻蝕質量的主要指標 2 8 3 工藝參數 2 9 常見工藝問題及其解決方法 2 9 1 邊珠效應 2 9 2 負載效應 2 9 3 長草現象 2 9 4 縮口問題 2 9 5 基腳效應 複習思考題 參考文獻 第3章 表面微加工技術 3 1 表面硅工藝的基本流程 3 2 表面硅工藝材料 3 2 1 結構層材料 3 2 2 犧牲層材料 3 3 薄膜製備工藝 3 3 1 物理氣相沉積成膜 3 3 2 化學氣相沉積成膜 3 3 3 外延 3 3 4 液相法沉積薄膜 3 4 剝離工藝 3 5 表面硅工藝常見問題分析 3 5 1 粘連 3 5 2 薄膜殘餘應力 複習思考題 參考文獻 第4章 硅基微加工工藝實例 4 1 體硅加工工藝實例 4 1 1 硅模具 4 1 2 硅尖 4 1 3 微懸臂樑 4 1 4 高深寬比微結構 4 2 表面硅加工工藝實例 4 2 1 RF MEMS開關 4 2 2 MEMS諧振器 4 2 3 神經微電極 4 2 4 鉸鏈 複習思考題 參考文獻 第5章 LIGA/准LIGA技術 5 1 LIGA技術 5 2 同步輻射X射線光刻 5 2 1 同步輻射X射線光源 5 2 2 掩膜結構和材料 5 2 3 同步輻射X射線掩膜製備 5 2 4 光刻膠和膠層製備 5 2 5 化學顯影處理 5 2 6 同步輻射X射線光刻工藝應用 5 3 LIGA技術中的微電鑄工藝 5 3 1 微電鑄工藝流程 5 3 2 微電鑄中常見的工藝問題及解決方法 5 4 LIGA技術中的微複製工藝 5 4 1 熱壓工藝 5 4 2 注塑工藝 5 5 准LIGA技術 5 5 1 UV-LIGA技術 5 5 2 DEM技術 5 5 3 Laser-LIGA技術 5 5 4 准LIGA技術的應用 5 6 其他相關LIGA技術 5 6 1 SLIGA技術 5 6 2 移動掩膜LIGA技術 5 6 3 封裝后釋放准LIGA技術 5 6 4 IH工藝 複習思考題 參考文獻 第6章 微感測器 6 1 物理信號感測器 6 1 1 力學感測器 6 1 2 電磁信號感測器 6 1 3 熱學信號感測器 6 1 4 光學信號感測器 6 1 5 聲學信號感測器 6 2 化學信號感測器 6 3 生物醫學感測器 6 3 1 體徵信號感測器 6 3 2 生物標誌物感測器 複習思考題 參考文獻 第7章 微執行器 7 1 機械微執行器 7 1 1 微閥 7 1 2 微泵 7 1 3 微馬達 7 1 4 微夾鉗 7 2 仿生微執行器 7 2 1 人工纖毛 7 2 2 人工肌肉 7 3 其他微執行器 7 3 1 微過濾器 7 3 2 微混合器 7 3 3 微透鏡陣列 7 3 4 微揚聲器 7 3 5 微加熱器 複習思考題 參考文獻 第8章 微機電系統典型應用 8 1 MEMS在生物醫學中的應用 8 1 1 微內窺鏡 8 1 2 微型手術和治療器械 8 1 3 定點釋放微藥丸 8 1 4 微流控晶元 8 1 5 人工器官 8 2 MEMS在軍事安全上的應用 8 2 1 用於飛行器和彈藥導航的慣性系統 8 2 2 智能彈藥技術 8 2 3 微型機器人 8 2 4 其他軍事應用 8 3 MEMS在遠程通信中的應用 8 3 1 一維MEMS光開關 8 3 2 二維MEMS光開關 8 3 3 三維MEMS光開關 8 3 4 MEMS光開關驅動與控制方式 8 4 MEMS在航空航天中的應用 8 4 1 MEMS在微納衛星中的應用 8 4 2 MEMS慣性導航系統 複習思考題 參考文獻 詳細資料或其他書籍請至台灣高等教育出版社查詢，查後請於PChome商店街私訊告知ISBN或書號，我們即儘速上架。 |
