微納製造與半導體器件周聖軍 9787111759225 【台灣高等教育出版社】

Name: 微納製造與半導體器件 周聖軍 9787111759225 【台灣高等教育出版社】
Brand: abooksthep
Price: 439.0 TWD
Availability: InStock

圖書均為代購，正常情形下，訂後約兩周可抵台。
物品所在地：中國大陸
原出版社：機械工業

NT$439

商品編號:

供貨狀況: 尚有庫存

加入最愛

商品介紹

*完成訂單後正常情形下約兩周可抵台。
*本賣場提供之資訊僅供參考，以到貨標的為正確資訊。
印行年月：202409*若逾兩年請先於私訊洽詢存貨情況，謝謝。
台灣(台北市)在地出版社，每筆交易均開具統一發票，祝您中獎最高1000萬元。
書名：微納製造與半導體器件
ISBN：9787111759225
出版社：機械工業
著編譯者：周聖軍
頁數：290
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1675017
可大量預訂，請先連絡。

內容簡介

本書基於編者在微納製造領域的實踐經驗與研究成果，並結合近年來國際上的最新進展，綜合介紹了微納製造技術與半導體器件工藝。全書分為3篇，共12章，包括半導體基本原理（半導體材料、能帶和PN結）、微納製造工藝（摻雜、外延生長技術、光刻工藝、納米壓印光刻技術、刻蝕、沉積技術）、半導體器件（器件測試分析與表徵技術、Ⅲ族氮化物發光二極體、SiC壓阻式壓力感測器、器件模擬軟體）等內容，對微納製造和器件加工中涉及的技術與工藝進行了詳細的介紹。本書內容豐富，注重理論與實踐相結合，適合作為機械、微電子、光學等相關專業的教材，供本科生和研究生學習使用，也可作為半導體行業研發人員的參考書。

前言
第一篇半導體基本原理
第1章半導體材料
1 1 半導體材料晶體結構
1 2 單晶硅
1 3 Ⅲ族氮化物
1 4 碳化硅
1 5 晶體缺陷
習題
參考文獻
第2章能帶和PN結
2 1 能帶
2 2 半導體PN結
習題
參考文獻
第二篇微納製造工藝
第3章摻雜
3 1 擴散
3 2 離子注入
習題
參考文獻
第4章外延生長技術
4 1 晶體外延生長
4 2 氫化物氣相外延（HVPE）
4 3 金屬有機化合物化學氣相沉積（MOCVD）
4 4 分子束外延（MBE）
習題
參考文獻
第5章光刻工藝
5 1 光刻原理
5 2 光學曝光技術
5 3 光刻工藝流程
5 4 光刻膠特性
5 5 光刻掩模版製作
5 6 極紫外光刻技術
5 7 其他光刻技術
習題
參考文獻
第6章納米壓印光刻技術
6 1 納米壓印光刻技術簡介
6 2 納米壓印模具
6 3 模具表面處理
6 4 壓印光刻膠
6 5 典型納米壓印光刻工藝
習題
參考文獻
第7章刻蝕
7 1 刻蝕原理
7 2 濕法刻蝕
7 3 干法刻蝕
7 4 刻蝕技術應用
習題
參考文獻
第8章沉積技術
8 1 物理氣相沉積技術
8 2 化學氣相沉積技術
習題
參考文獻
第三篇半導體器件
第9章器件測試分析與表徵技術
9 1 掃描電子顯微鏡
9 2 透射電子顯微鏡
9 3 原子力顯微鏡
9 4 X射線光電子能譜
9 5 X射線衍射
9 6 拉曼光譜
9 7 俄歇電子能譜儀
9 8 原子探針層析技術
9 9 二次離子質譜分析
習題
參考文獻
第10章 Ⅲ族氮化物發光二極體
10 1 發光二極體介紹
10 2 LED外延結構及生長工藝
10 3 LED晶元結構及製造工藝
習題
參考文獻
第11章 SiC壓阻式壓力感測器
11 1 SiC壓阻式壓力感測器工作原理
11 2 SiC壓阻式壓力感測器設計與製造
習題
參考文獻
第12章器件模擬軟體
12 1 SimuLED
12 2 Silvaco TCAD
12 3 COMSOL Multiphysics
12 4 LightTools
12 5 FDTD Solutions
習題
參考文獻

詳細資料或其他書籍請至台灣高等教育出版社查詢，查後請於PChome商店街私訊告知ISBN或書號，我們即儘速上架。