*完成訂單後正常情形下約兩周可抵台。 *本賣場提供之資訊僅供參考,以到貨標的為正確資訊。 印行年月:202405*若逾兩年請先於私訊洽詢存貨情況,謝謝。 台灣(台北市)在地出版社,每筆交易均開具統一發票,祝您中獎最高1000萬元。 書名:高頻寬帶體聲波濾波器技術 ISBN:9787030786883 出版社:科學 著編譯者:李國強著 叢書名:半導體科學與技術叢書 頁數:377 所在地:中國大陸 *此為代購商品 書號:1664230 可大量預訂,請先連絡。 內容簡介 本書共8章。第1章介紹濾波器的發展史,著重分析射頻濾波器的種類及體聲波濾波器的研發進展。第2章和第3章從體聲波濾波器的物理基礎出發,基於聲波的傳輸理論與材料的壓電理論推導出器件模擬模型,並以兩款體聲波濾波器的設計案例介紹設計方法的應用,展現關鍵影響因素在設計過程中的調整規律。第4∼6章依次介紹了AIN薄膜的製備與表徵方法、體聲波濾波器的關鍵製備工藝與封裝技術,結合本書作者團隊的研究成果,表明了單晶AlN體聲波濾波器(SABAR)技術路線較多晶AIN路線的優勢。第7章著重介紹體聲波濾波器在民用通信、國防、感測及醫學領域的應用。第8章分析與展望了體聲波濾波器的前沿技術,涉及SABAR濾波器、溫度補償型體聲波濾波器、四工器、XBAR、YBAR等。 本書可作為射頻通信、晶元製造、半導體等行業從業人員,特別是研發人員的參考書目;也可作為高等院校通信、集成電路、材料等專業的教輔用書;還可作為對本研究方向感興趣人員的科普讀物。目錄 《半導體科學與技術叢書》出版說明序 前言 第1章 濾波器的發展史 1 1 引言 1 2 射頻濾波器的特性及分類 1 2 1 腔體濾波器 1 2 2 介質濾波器 1 2 3 LC濾波器 1 2 4 IPD濾波器 1 2 5 低溫共燒陶瓷濾波器 1 2 6 聲表面波濾波器 1 2 7 體聲波濾波器 1 3 現代通信對射頻濾波器的要求 1 3 1 高頻化 1 3 2 寬頻化 1 3 3 集成化 1 4 體聲波濾波器的研發進展 1 4 1 國內外研發進展 1 4 2 產業化進程 參考文獻 第2章 體聲波濾波器的物理基礎 2 1 固體中的振動與波 2 1 1 不同介質中的聲波傳輸 2 1 2 固體聲波與胡克定律 2 2 普通彈性體的平面聲波傳輸理論 2 2 1 彈性體的基本聲學方程 2 2 2 彈性體的基本平面聲波方程 2 2 3 各向同性介質的平面聲波 2 3 壓電體的平面聲波傳輸理論 2 3 1 壓電效應 2 3 2 壓電方程 2 3 3 壓電介質中的平面聲波 2 3 4 理想體聲波諧振器的平面聲波 2 4 體聲波諧振器的電學特性 2 4 1 理想體聲波諧振器的電學阻抗特性 2 4 2 理想體聲波諧振器中的諧振頻率分析 2 4 3 複合體聲波諧振器的電學阻抗特性 2 5 體聲波諧振器的損耗 2 5 1 機械損耗 2 5 2 電學損耗 2 6 體聲波濾波器的材料體系 2 6 1 金屬材料 2 6 2 電介質材料 2 6 3 壓電材料 參考文獻 第3章 體聲波濾波器的理論模型及設計方法 3 1 體聲波諧振器的等效電路模型 3 1 1 BVD模型 3 1 2 MBVD模型 3 1 3 Mason模型 3 2 體聲波諧振器的二維/三維模擬模型 3 2 1 常用的電磁模擬方法及軟體 3 2 2 COMSOL有限元模擬 3 2 3 ANSYS HFSS有限元模擬 3 3 體聲波濾波器的拓撲結構 3 3 1 梯型結構 3 3 2 網格型結構 3 3 3 混合型結構 3 4 體聲波濾波器的設計方法 3 4 1 體聲波濾波器設計流程 3 4 2 體聲波濾波器設計驗證方法 3 5 體聲波諧振器及濾波器性能的關鍵影響因素 3 5 1 電極與壓電薄膜厚度比 3 5 2 有效機電耦合係數 3 5 3 級聯方式及階數 3 5 4 被動元件的引入 3 6 濾波器的設計案例 3 6 1 Band 40頻段濾波器設計 3 6 2 N79頻段濾波器設計 參考文獻 第4章 AlN薄膜的製備與表徵方法 4 1 AlN薄膜的製備方法 4 1 1 磁控濺射 4 1 2 脈衝激光沉積 4 1 3 分子束外延 4 1 4 金屬有機化學氣相沉積 4 1 5 兩步生長法 4 1 6 物理氣相傳輸法 4 1 7 其他製備方法 4 2 單晶AlN薄膜製備的研究現狀 4 2 1 高溫生長技術 4 2 2 多步 AlN 層設計 4 2 3 遷移增強技術 4 2 4 橫向外延生長技術 4 3 單晶AlN薄膜體聲波濾波器的優勢 4 4 體聲波濾波器單晶AlN薄膜的需求 4 4 1 殘餘應力與翹 4 4 2 晶體質量 4 4 3 表面均勻性 4 5 體聲波濾波器中單晶AlN薄膜的表徵方法 4 5 1 壓電係數 4 5 2 X射線衍射 4 5 3 原子力顯微鏡 4 5 4 膜厚分析 4 5 5 應力分析 參考文獻 第5章 體聲波濾波器的關鍵製備工藝 5 1 濾波器工藝流程概述 5 1 1 空氣隙型體聲波濾波器工藝流程 5 1 2 背硅刻蝕型體聲波濾波器工藝流程 5 1 3 固態裝配型體聲波濾波器工藝流程 5 2 濾波器光刻工藝 5 2 1 光刻工藝概述 5 2 2 光刻工藝的發展歷程 5 2 3 光刻工藝的基本流程 5 2 4 雙面圖形對準技術 5 2 5 金屬電極的圖形化技術 5 3 濾波器刻蝕工藝 5 3 1 刻蝕工藝概述 5 3 2 干法刻蝕工藝 5 3 3 空腔刻蝕工藝 5 3 4 深硅刻蝕工藝 5 3 5 薄膜修整工藝 5 4 濾波器鍵合工藝 5 4 1 鍵合工藝概述 5 4 2 金硅共晶鍵合工藝 5 4 3 低溫富錫金鍵合工藝 參考文獻 第6章 體聲波濾波器的封裝技術 6 1 CSP 封裝技術 6 1 1 CSP 封裝概述 6 1 2 CSP 封裝工藝流程 6 2 晶圓級封裝技術 6 2 1 晶圓級封裝概述 6 2 2 晶圓級封裝工藝流程 6 2 3 晶圓級封裝的細分技術 6 2 4 小結 參考文獻 第7章 體聲波濾波器的應用 7 1 4G 通信頻段 7 2 5G 通信頻段 7 2 1 N41頻段 7 2 2 N77、N78、N79(3300∼5000 MHz)頻段 7 2 3 更高頻段 7 3 體聲波濾波器在國防領域的應用 7 3 1 體聲波濾波器在衛星中的應用 7 3 2 體聲波濾波器在相控雷達中的應用 7 3 3 體聲波濾波器在宇宙飛船中的應用 7 4 體聲波濾波器在其他領域的應用 7 4 1 體聲波濾波器在感測領域的應用 7 4 2 體聲波濾波器在醫學領域的應用 7 4 3 體聲波濾波器在消費電子領域的應 詳細資料或其他書籍請至台灣高等教育出版社查詢,查後請於PChome商店街私訊告知ISBN或書號,我們即儘速上架。 |