高頻寬帶體聲波濾波器技術 李國強著 9787030786883 【台灣高等教育出版社】

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物品所在地:中國大陸
原出版社:科學
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書名:高頻寬帶體聲波濾波器技術
ISBN:9787030786883
出版社:科學
著編譯者:李國強著
叢書名:半導體科學與技術叢書
頁數:377
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1664230
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內容簡介

本書共8章。第1章介紹濾波器的發展史,著重分析射頻濾波器的種類及體聲波濾波器的研發進展。第2章和第3章從體聲波濾波器的物理基礎出發,基於聲波的傳輸理論與材料的壓電理論推導出器件模擬模型,並以兩款體聲波濾波器的設計案例介紹設計方法的應用,展現關鍵影響因素在設計過程中的調整規律。第4∼6章依次介紹了AIN薄膜的製備與表徵方法、體聲波濾波器的關鍵製備工藝與封裝技術,結合本書作者團隊的研究成果,表明了單晶AlN體聲波濾波器(SABAR)技術路線較多晶AIN路線的優勢。第7章著重介紹體聲波濾波器在民用通信、國防、感測及醫學領域的應用。第8章分析與展望了體聲波濾波器的前沿技術,涉及SABAR濾波器、溫度補償型體聲波濾波器、四工器、XBAR、YBAR等。 本書可作為射頻通信、晶元製造、半導體等行業從業人員,特別是研發人員的參考書目;也可作為高等院校通信、集成電路、材料等專業的教輔用書;還可作為對本研究方向感興趣人員的科普讀物。

目錄

《半導體科學與技術叢書》出版說明

前言
第1章 濾波器的發展史
1 1 引言
1 2 射頻濾波器的特性及分類
1 2 1 腔體濾波器
1 2 2 介質濾波器
1 2 3 LC濾波器
1 2 4 IPD濾波器
1 2 5 低溫共燒陶瓷濾波器
1 2 6 聲表面波濾波器
1 2 7 體聲波濾波器
1 3 現代通信對射頻濾波器的要求
1 3 1 高頻化
1 3 2 寬頻化
1 3 3 集成化
1 4 體聲波濾波器的研發進展
1 4 1 國內外研發進展
1 4 2 產業化進程
參考文獻
第2章 體聲波濾波器的物理基礎
2 1 固體中的振動與波
2 1 1 不同介質中的聲波傳輸
2 1 2 固體聲波與胡克定律
2 2 普通彈性體的平面聲波傳輸理論
2 2 1 彈性體的基本聲學方程
2 2 2 彈性體的基本平面聲波方程
2 2 3 各向同性介質的平面聲波
2 3 壓電體的平面聲波傳輸理論
2 3 1 壓電效應
2 3 2 壓電方程
2 3 3 壓電介質中的平面聲波
2 3 4 理想體聲波諧振器的平面聲波
2 4 體聲波諧振器的電學特性
2 4 1 理想體聲波諧振器的電學阻抗特性
2 4 2 理想體聲波諧振器中的諧振頻率分析
2 4 3 複合體聲波諧振器的電學阻抗特性
2 5 體聲波諧振器的損耗
2 5 1 機械損耗
2 5 2 電學損耗
2 6 體聲波濾波器的材料體系
2 6 1 金屬材料
2 6 2 電介質材料
2 6 3 壓電材料
參考文獻
第3章 體聲波濾波器的理論模型及設計方法
3 1 體聲波諧振器的等效電路模型
3 1 1 BVD模型
3 1 2 MBVD模型
3 1 3 Mason模型
3 2 體聲波諧振器的二維/三維模擬模型
3 2 1 常用的電磁模擬方法及軟體
3 2 2 COMSOL有限元模擬
3 2 3 ANSYS HFSS有限元模擬
3 3 體聲波濾波器的拓撲結構
3 3 1 梯型結構
3 3 2 網格型結構
3 3 3 混合型結構
3 4 體聲波濾波器的設計方法
3 4 1 體聲波濾波器設計流程
3 4 2 體聲波濾波器設計驗證方法
3 5 體聲波諧振器及濾波器性能的關鍵影響因素
3 5 1 電極與壓電薄膜厚度比
3 5 2 有效機電耦合係數
3 5 3 級聯方式及階數
3 5 4 被動元件的引入
3 6 濾波器的設計案例
3 6 1 Band 40頻段濾波器設計
3 6 2 N79頻段濾波器設計
參考文獻
第4章 AlN薄膜的製備與表徵方法
4 1 AlN薄膜的製備方法
4 1 1 磁控濺射
4 1 2 脈衝激光沉積
4 1 3 分子束外延
4 1 4 金屬有機化學氣相沉積
4 1 5 兩步生長法
4 1 6 物理氣相傳輸法
4 1 7 其他製備方法
4 2 單晶AlN薄膜製備的研究現狀
4 2 1 高溫生長技術
4 2 2 多步 AlN 層設計
4 2 3 遷移增強技術
4 2 4 橫向外延生長技術
4 3 單晶AlN薄膜體聲波濾波器的優勢
4 4 體聲波濾波器單晶AlN薄膜的需求
4 4 1 殘餘應力與翹
4 4 2 晶體質量
4 4 3 表面均勻性
4 5 體聲波濾波器中單晶AlN薄膜的表徵方法
4 5 1 壓電係數
4 5 2 X射線衍射
4 5 3 原子力顯微鏡
4 5 4 膜厚分析
4 5 5 應力分析
參考文獻
第5章 體聲波濾波器的關鍵製備工藝
5 1 濾波器工藝流程概述
5 1 1 空氣隙型體聲波濾波器工藝流程
5 1 2 背硅刻蝕型體聲波濾波器工藝流程
5 1 3 固態裝配型體聲波濾波器工藝流程
5 2 濾波器光刻工藝
5 2 1 光刻工藝概述
5 2 2 光刻工藝的發展歷程
5 2 3 光刻工藝的基本流程
5 2 4 雙面圖形對準技術
5 2 5 金屬電極的圖形化技術
5 3 濾波器刻蝕工藝
5 3 1 刻蝕工藝概述
5 3 2 干法刻蝕工藝
5 3 3 空腔刻蝕工藝
5 3 4 深硅刻蝕工藝
5 3 5 薄膜修整工藝
5 4 濾波器鍵合工藝
5 4 1 鍵合工藝概述
5 4 2 金硅共晶鍵合工藝
5 4 3 低溫富錫金鍵合工藝
參考文獻
第6章 體聲波濾波器的封裝技術
6 1 CSP 封裝技術
6 1 1 CSP 封裝概述
6 1 2 CSP 封裝工藝流程
6 2 晶圓級封裝技術
6 2 1 晶圓級封裝概述
6 2 2 晶圓級封裝工藝流程
6 2 3 晶圓級封裝的細分技術
6 2 4 小結
參考文獻
第7章 體聲波濾波器的應用
7 1 4G 通信頻段
7 2 5G 通信頻段
7 2 1 N41頻段
7 2 2 N77、N78、N79(3300∼5000 MHz)頻段
7 2 3 更高頻段
7 3 體聲波濾波器在國防領域的應用
7 3 1 體聲波濾波器在衛星中的應用
7 3 2 體聲波濾波器在相控雷達中的應用
7 3 3 體聲波濾波器在宇宙飛船中的應用
7 4 體聲波濾波器在其他領域的應用
7 4 1 體聲波濾波器在感測領域的應用
7 4 2 體聲波濾波器在醫學領域的應用
7 4 3 體聲波濾波器在消費電子領域的應
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