納米多孔GaN基薄膜的製備及其特性研究 曹得重 9787030758668 【台灣高等教育出版社】

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物品所在地:中國大陸
原出版社:科學
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書名:納米多孔GaN基薄膜的製備及其特性研究
ISBN:9787030758668
出版社:科學
著編譯者:曹得重
叢書名:博士後文庫
頁數:142
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1560627
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內容簡介 本書主要以幾種新型的納米多孔GaN基薄膜為研究對象,系統地介紹了其納米孔結構的製備及特性研究,為其在光解水、發光器件、柔性器件及可穿戴設備等領域的應用奠定了理論和實驗基礎。 本書所介紹的納米多孔GaN基薄膜材料與器件的製備、測試和表徵方法可為從事寬禁帶半導體的研究人員提供參考,也可作為高等院校微電子專業研究生學習薄膜生長、微納濕法刻蝕工藝、性能測試和表徵的參考資料。

目錄 「博士後文庫」序言
前言
第1章 緒論
1 1 GaN的材料特性
1 2 GaN材料的應用背景
1 3 GaN單晶薄膜的研究現狀
1 4 納米多孔GaN單晶薄膜的研究現狀
第2章 實驗設備和測試方法
2 1 實驗設備
2 1 1 有機金屬化學氣相沉積系統
2 1 2 電化學刻蝕系統
2 2 測試方法
2 2 1 表面形貌測試方法
2 2 2 晶體結構測試方法
2 2 3 物質成分測試方法
2 2 4 光學特性測試方法
2 2 5 力學特性測試方法
2 2 6 電學特性測試方法
2 2 7 其他測試方法
第3章 GaN薄膜在預刻蝕階段的電化學刻蝕機理
3 1 實驗部分
3 2 結果和討論
3 3 本章小結
第4章 納米多孔GaN薄膜的光催化特性
4 1 實驗部分
4 1 1 納米多孔GaN薄膜的製備
4 1 2 光催化測試
4 2 結果和討論
4 2 1 納米多孔GaN薄膜的表徵
4 2 2 納米多孔GaN薄膜的光催化活性
4 2 3 納米多孔GaN薄膜和多孔Si的光催化活性的對比
4 3 本章小結
第5章 納米多孔GaN薄膜的光電化學特性
5 1 實驗部分
5 1 1 GaN單晶薄膜的製備
5 1 2 納米多孔GaN薄膜的製備
5 1 3 測試和表徵
5 2 結果和討論
5 3 本章小結
第6章 納米多孔GaN基MQW的製備及其光電化學特性
6 1 實驗部分
6 2 結果和討論
6 2 1 納米多孔GaN基MQW的製備和表徵
6 2 2 剝離的納米多孔GaN基MQW的製備和表徵
6 2 3 納米多孔GaN基MQW的光電化學特性
6 3 本章小結
第7章 納米多孔GaN基LED的製備及特性
7 1 實驗部分
7 2 結果和討論
7 3 本章小結
第8章 具有分佈布拉格反射鏡的GaN基LED製備及特性
8 1 實驗部分
8 1 1 GaN薄膜的外延生長
8 1 2 片尺寸納米多孔GaNDBR的製備
8 1 3 LED結構的外延生長
8 1 4 測試與表徵
8 2 結果和討論
8 3 本章小結
第9章 具有GaN/納米空腔的InGaN基LED的製備及特性
9 1 實驗部分
9 1 1 GaN薄膜的外延生長
9 1 2 片尺寸多層納米多孔GaN結構的製備
9 1 3 LED結構的外延生長
9 1 4 測試與表徵
9 2 結果和討論
9 3 本章小結
第10章 具有中孔GaN分佈布拉格反射鏡的InGaN/GaN光陽極的製備及其光電化學特性
10 1 實驗部分
10 1 1 樣品製備
10 1 2 測試和表徵
10 2 結果和討論
10 3 本章小結
第11章 自支撐納米多孔InGaN/GaNMQW的製備及發光特性
11 1 實驗部分
11 1 1 薄膜的外延生長
11 1 2 薄膜的光電化學刻蝕
11 1 3 測試和表徵
11 2 結果和討論
11 3 本章小結
第12章 具有納米多孔GaN反射鏡的多孔InGaN/GaNMQW的光解水特性
12 1 實驗部分
12 1 1 薄膜外延生長
12 1 2 薄膜的電化學刻蝕
12 1 3 測試和表徵
12 2 結果和討論
12 3 本章小結
參考文獻
編後記
彩圖

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