真空鍍膜技術與應用田燦鑫 9787562969792 【台灣高等教育出版社】

Name: 真空鍍膜技術與應用 田燦鑫 9787562969792 【台灣高等教育出版社】
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書名：真空鍍膜技術與應用
ISBN：9787562969792
出版社：武漢理工大學
著編譯者：田燦鑫
頁數：234
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1647504
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內容簡介

本書內容涵蓋了真空鍍膜的關鍵技術和實際應用。在介紹真空鍍膜技術基礎理論及應用的基礎上，著重闡述了真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、等離子體增強化學氣相沉積的原理、工藝、應用等，緊接著介紹了薄膜厚度的測量、薄膜分析檢測技術等方面的內容，最後詳細闡述了工模具真空鍍膜生產線的具體工藝流程。本書敘述深入淺出，內容豐富而精鍊，工程實踐性強，在強化理論的同時，重點突出了工程應用，賄很強的實用性。本書適合從事真空鍍膜技術、薄膜與表面工程、材料工程等領域的研究、設計、設備操作及維護工作的技術人員閱讀參考。

1 真空鍍膜技術概論
1 1 真空鍍膜技術分類
1 2 真空基礎知識
1 3 真空鍍膜系統
1 4 真空的獲得
1 5 真空的測量
1 6 真空鍍膜技術的應用
2 真空蒸發鍍膜
2 1 真空蒸發鍍膜的原理
2 2 蒸發加熱方式及蒸發源
2 3 真空蒸鍍工藝
2 4 真空蒸發鍍膜技術的應用
3 真空濺射鍍膜
3 1 濺射鍍膜的特點
3 2 濺射的基本原理
3 3 直流濺射
3 4 射頻濺射
3 5 磁控濺射
3 6 高功率脈衝磁控濺射
3 7 真空濺射鍍膜技術的應用
4 真空離子鍍膜
4 1 真空離子鍍膜的分類
4 2 離子鍍技術的原理
4 3 空心陰極離子鍍
4 4 電弧離子鍍膜
4 5 離子束沉積技術
4 6 真空離子鍍膜技術的應用
5 等離子體增強化學氣相沉積
5 1 化學氣相沉積技術
5 2 等離子體增強化學氣相沉積原理
5 3 等離子體增強化學氣相沉積技術特點及發展趨勢
5 4 等離子體增強化學氣相沉積技術類型
5 5 各種新型等離子體增強化學氣相沉積技術
5 6 等離子體增強化學氣相沉積技術的應用
6 工模具真空鍍膜生產線
6 1 PVD工模具塗層生產線
6 2 TiN、CrN塗層、AlCrN、AlTiN塗層
6 3 納米晶非晶複合塗層TiSiN、TiBN
6 4 多元多層塗層、高熵合金塗層
參考文獻

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