射頻等離子體物理基礎 王友年 9787030779922 【台灣高等教育出版社】
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物品所在地：中國大陸
原出版社：科學
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| *完成訂單後正常情形下約兩周可抵台。 *本賣場提供之資訊僅供參考，以到貨標的為正確資訊。 印行年月：202405*若逾兩年請先於私訊洽詢存貨情況，謝謝。 台灣(台北市)在地出版社，每筆交易均開具統一發票，祝您中獎最高1000萬元。 書名：射頻等離子體物理基礎 ISBN：9787030779922 出版社：科學 著編譯者：王友年 頁數：442 所在地：中國大陸 *此為代購商品 書號：1648483 可大量預訂，請先連絡。 內容簡介 本書較為全面、系統地介紹了低氣壓非熱平衡等離子體的物理基礎和射頻等離子體特性。全書分兩大部分，其中第一部分為第1∼8章，主要介紹低溫等離子體的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、動理學模型、流體力學模型、穩態輸運模型、射頻鞘層模型、整體模型等；第二部分為第9∼14章，側重介紹不同類型的射頻放電和射頻等離子體特性，如容性耦合等離子體、甚高頻容性耦合等離子體中的電磁效應、柱狀線圈感性耦合等離子體、平麵線圈感性耦合等離子體、螺旋波等離子體和電子迴旋共振微波等離子體。 本書可作為等離子體物理和相關專業高年級本科生和研究生的教學用書，也可作為從事低溫等離子體科學和應用技術（如等離子體刻蝕和薄膜沉積技術）研究人員的參考用書。目錄 第1章 概述1 1 等離子體的基本概念 1 2 等離子體的狀態參數及分類 1 3 等離子體的基本特性 1 4 懸浮鞘層 1 5 基本碰撞類型 1 6 表面過程 1 7 低氣壓放電概述 1 8 低溫等離子體的基本物理模型 習題 參考文獻 第2章 碰撞過程和碰撞截面 2 1 二體彈性碰撞理論 2 2 經典散射理論 2 3 中性粒子的彈性碰撞 2 4 帶電粒子的彈性碰撞 2 5 離子與原子的彈性碰撞 2 6 電子與原子的彈性碰撞 2 7 電子與原子的非彈性碰撞 2 8 電子與分子的碰撞 2 9 離子與中性粒子的電荷轉移碰撞 2 10 本章小結 習題 參考文獻 第3章 低溫等離子體的粒子模型 3 1 單粒子模型 3 2 唯象單粒子模型 3 3 PIC模型 3 4 MCC模型 3 5 PIC/MCC模擬方法和算例 3 6 本章小結 習題 參考文獻 第4章 低溫等離子體的動理學模型 4 1 玻爾茲曼方程的建立 4 2 電子玻爾茲曼方程 4 3 電子分佈函數的兩項近似方法 4 4 均勻射頻電場中的電子分佈函數 4 5 均勻恆定磁場對電子分佈函數的影響 4 6 電子的無碰撞加熱機制 4 7 本章小結 習題 參考文獻 第5章 低溫等離子體的流體力學模型 5 1 等離子體的宏觀物理量 5 2 等離子體流體方程組的一般形式 5 3 非熱平衡等離子體的流體力學方程組 5 4 碰撞速率係數和熱傳導係數 5 5 中性粒子的流體力學模型 5 6 本章小結 習題 參考文獻 第6章 穩態等離子體的輸運模型 6 1 遷移和擴散 6 2 雙極擴散方程的解 6 3 中低氣壓下輸運方程的解 6 4 電負性等離子體的輸運 6 5 磁化等離子體的輸運 6 6 中性粒子的擴散 6 7 本章小結 習題 參考文獻 第7章 射頻鞘層模型 7 1 直流鞘層 7 2 均勻離子密度的射頻鞘層 7 3 非均勻離子密度的射頻鞘層 7 4 射頻鞘層振蕩產生的隨機加熱 7 5 射頻鞘層的直流自偏壓 7 6 瞬時離子鞘層 7 7 離子能量分佈 7 8 雙頻容性耦合鞘層 7 9 本章小結 習題 參考文獻 第8章 低溫等離子體的整體模型 8 1 電正性等離子體的整體模型 8 2 電負性等離子體的整體模型 8 3 多成分等離子體的整體模型 8 4 脈衝放電的特性 8 5 本章小結 習題 參考文獻 第9章 容性耦合等離子體 9 1 容性耦合等離子體源的概況 9 2 電極間的瞬時電勢分佈 9 3 容性耦合等離子體的等效迴路模型 9 4 定標關係 9 5 非線性串聯共振現象 9 6 電非對稱效應 9 7 電子反彈共振加熱 9 8 正負離子的振蕩行為及條紋現象 9 9 容性耦合等離子體的二維混合模擬 9 10 本章小結 參考文獻 第10章 甚高頻容性耦合等離子體中的電磁效應 10 1 傳輸線模型分析 10 2 電磁模型分析 10 3 流體力學模型分析 10 4 駐波效應的實驗觀察 10 5 甚高頻容性耦合放電中的非線性高次諧波 10 6 駐波效應的抑制方法 10 7 本章小結 參考文獻 第11章 柱狀線圈感性耦合等離子體 11 1 感性耦合等離子體源概述 11 2 趨膚效應 11 3 一維電磁模型 11 4 變壓器模型 11 5 非局域電子動理學 11 6 本章小結 參考文獻 第12章 平麵線圈感性耦合等離子體 12 1 二維電磁模型 12 2 電阻與電感 12 3 放電模式轉換 12 4 偏壓效應 12 5 感性耦合等離子體的徑向均勻性 12 6 本章小結 參考文獻 第13章 螺旋波等離子體 13 1 螺旋波等離子體源簡介 13 2 均勻無界磁化等離子體中傳播的電磁波 13 3 柱狀等離子體中螺旋波的模式 13 4 螺旋波天線長度的選取 13 5 螺旋波的功率吸收機制 13 6 等離子體的吸收功率密度 13 7 螺旋波放電的模式跳變 參考文獻 第14章 電子迴旋共振微波等離子體 14 1 ECR源的靜磁場空間分佈 14 2 真空圓柱形波導中的電磁波模式 14 3 ECR放電的電子加熱機制 14 4 微波的迴旋共振吸收 14 5 電子的熱運動效應 參考文獻 附錄A 量子力學的彈性散射截面和動量輸運截面 附錄B 電子與原子的非彈性碰撞截面 附錄C 兩個粒子彈性碰撞后的速度 附錄D 速度空間中的準線性擴散項 附錄E 甚高頻CCP中的電磁場分佈 詳細資料或其他書籍請至台灣高等教育出版社查詢，查後請於PChome商店街私訊告知ISBN或書號，我們即儘速上架。 |
