薄膜物理與技術 沈傑 9787122446763 【台灣高等教育出版社】
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物品所在地：中國大陸
原出版社：化學工業
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| *完成訂單後正常情形下約兩周可抵台。 *本賣場提供之資訊僅供參考，以到貨標的為正確資訊。 印行年月：202405*若逾兩年請先於私訊洽詢存貨情況，謝謝。 台灣(台北市)在地出版社，每筆交易均開具統一發票，祝您中獎最高1000萬元。 書名：薄膜物理與技術 ISBN：9787122446763 出版社：化學工業 著編譯者：沈傑 頁數：241 所在地：中國大陸 *此為代購商品 書號：1642754 可大量預訂，請先連絡。 內容簡介 《薄膜物理與技術》主要闡述了薄膜物理與薄膜技術的基礎理論知識，重點講述了薄膜生長基礎，薄膜生長技術，包括蒸發、濺射、離子鍍、化學氣相沉積、原子層沉積、化學溶液沉積以及納米薄膜組裝等，並對薄膜的基本性質及與光、電相關的一些薄膜材料進行了介紹。 本書可作為高等學校材料科學與工程、電子科學與技術、微電子、光學等專業的本科生或研究生的教材或教學參考書，也可供從事相關行業的工程技術人員參考使用。目錄 第1章 薄膜生長基礎1 1 概述 1 2 薄膜生長過程 1 2 1 薄膜生長的類型 1 2 2 薄膜生長的三種機制 1 3 薄膜生長理論 1 3 1 熱力學界面能理論 1 3 2 原子聚集理論 1 4 薄膜結構 1 4 1 薄膜結構與缺陷 1 4 2 結構區域模型 思考題 第2章 蒸發鍍膜 2 1 蒸發原理 2 1 1 蒸發特性 2 1 2 合金與化合物的蒸發 2 1 3 薄膜厚度的均勻性 2 1 4 蒸發源與電阻蒸發 2 2 電子束蒸發 2 2 1 電子束加熱原理 2 2 2 電子束蒸發源 2 2 3 特殊電子束蒸發 2 3 激光蒸發 2 3 1 激光蒸發基本原理 2 3 2 脈衝激光燒蝕 2 4 分子束外延 2 4 1 外延生長概述 2 4 2 分子束外延生長 思考題 第3章 濺射鍍膜 3 1 濺射原理和特性 3 1 1 濺射原理 3 1 2 濺射產額 3 1 3 濺射特性 3 1 4 合金與化合物的濺射 3 2 直流濺射 3 2 1 二極濺射 3 2 2 三極濺射和四極濺射 3 3 射頻濺射 3 4 磁控濺射 3 4 1 磁控濺射原理與特點 3 4 2 磁控濺射設備 3 5 反應濺射 3 6 中頻濺射 思考題 第4章 離子鍍與離子束沉積 4 1 離子鍍原理 4 2 活化反應蒸發 4 3 陰極電弧等離子體沉積 4 4 離子束沉積 4 4 1 直接引出式離子束沉積 4 4 2 質量分離式離子束沉積 4 4 3 離化團束沉積 4 4 4 離子束輔助沉積 4 4 5 離子束濺射 思考題 第5章 化學氣相沉積 5 1 化學氣相沉積原理 5 2 熱化學氣相沉積 5 2 1 常壓化學氣相沉積 5 2 2 低壓化學氣相沉積 5 3 等離子體增強化學氣相沉積 5 4 光化學氣相沉積 5 5 金屬有機化學氣相沉積 思考題 第6章 原子層沉積 6 1 原子層沉積的過程和特點 6 1 1 原子層沉積過程 6 1 2 原子層沉積特點 6 1 3 影響原子層沉積生長速率的因素 6 2 熱原子層沉積 6 2 1 氧化物沉積 6 2 2 半導體沉積 6 3 空間原子層沉積 6 4 電化學原子層沉積 6 5 等離子體增強原子層沉積 6 5 1 等離子體增強原子層沉積的反應 6 5 2 等離子體增強原子層沉積的分類與特點 思考題 第7章 其它薄膜沉積技術 7 1 化學溶液沉積法 7 1 1 電鍍 7 1 2 化學鍍 7 1 3 陽極氧化 7 1 4 液相外延 7 1 5 噴霧熱解 7 2 LB薄膜法 7 2 1 LB薄膜定義 7 2 2 LB膜材料在亞相上的展開機理 7 2 3 LB膜的沉積方法 7 2 4 LB膜技術的特點 7 3 溶膠-凝膠法 7 3 1 溶膠-凝膠法定義 7 3 2 溶膠-凝膠法工藝 7 3 3 溶膠-凝膠法反應過程 7 3 4 溶膠-凝膠法特點與應用 思考題 第8章 納米薄膜組裝 8 1 概述 8 2 納米薄膜技術 8 2 1 納米薄膜設計製備 8 2 2 納米薄膜釋放過程 8 2 3 納米薄膜結構的構建 8 3 面向電學和光學應用的納米薄膜組裝 8 3 1 基於組裝納米薄膜的光電器件 8 3 2 用於柔性和可穿戴電子產品的褶皺納米薄膜 8 4 納米薄膜摺紙結構 8 4 1 用於三維器件的捲曲納米薄膜 8 4 2 用於智能器件的納米薄膜摺紙/剪紙結構 8 5 仿生納米薄膜 8 6 納米薄膜形式的二維材料 8 7 小結 思考題 第9章 薄膜的物理性質 9 1 薄膜厚度的測量與監控 9 1 1 薄膜厚度的測量 9 1 2 薄膜厚度的監控 9 2 薄膜的力學性質 9 2 1 薄膜的附著力 9 2 2 薄膜的內應力 9 2 3 薄膜的硬度 9 3 薄膜的電學性質 9 3 1 薄膜電阻 9 3 2 連續金屬薄膜的電學性質 9 3 3 非連續金屬薄膜的電學性質 9 3 4 薄膜的介電性質 9 4 薄膜的光學性質 9 4 1 特徵矩陣 9 4 2 減反膜 9 4 3 反射膜 9 4 4 濾光片 思考題 第10章 薄膜材料及應用 10 1 概述 10 2 集成電路中的薄膜 10 2 1 集成電路製造工藝概述 10 2 2 介質層薄膜 10 2 3 金屬化 10 3 薄膜晶體管 10 3 1 薄膜晶體管概述 10 3 2 薄膜晶體管類型 10 3 3 薄膜晶體管工作原理和特性參數 10 3 4 薄膜晶體管的應用 10 4 鐵電薄膜 10 4 1 鐵電性、熱釋電性和壓電性 10 4 2 鐵電材料歷史 10 4 3 鐵電材料及製備技術 10 4 4 鐵電滯回線 10 4 5 鐵電薄膜的應用 10 5 薄膜太陽電池 10 5 1 太陽電池的原理與特性 10 5 2 非晶硅薄膜太陽電池 10 5 3 銅銦鎵硒薄膜太陽電池 10 5 4 碲化鎘薄膜太陽電池 10 6 透明導電薄膜 10 6 1 透明導電薄膜材料 10 6 2 透明導電薄膜製備 10 6 3 透明導電薄膜的電學與光學性能 10 6 4 高價態摻雜透明導電氧化物薄膜 詳細資料或其他書籍請至台灣高等教育出版社查詢，查後請於PChome商店街私訊告知ISBN或書號，我們即儘速上架。 |
