半導體材料 楊德仁 朱笑東 9787121479731 【台灣高等教育出版社】

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書名:半導體材料
ISBN:9787121479731
出版社:電子工業
著編譯者:楊德仁 朱笑東
頁數:336
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1642271
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內容簡介

本書詳細介紹了半導體材料的基本概念、基本物理原理、製備原理和製備技術,重點介紹了半導體硅材料(包括高純多晶硅、區熔單晶硅、直拉單晶硅和硅薄膜半導體材料)的製備、結構和性質,闡述了化合物半導體(包括Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族、Ⅳ-Ⅳ族化合物半導體材料和氧化物半導體材料)的製備技術和基本性質,還闡述了有機半導體材料、半導體量子點(量子阱)等新型半導體材料的製備和性質。

目錄

第1章 半導體材料概論
1 1 半導體材料的研究和發展歷史
1 2 半導體材料的基本性質
1 2 1 半導體材料的分類
1 2 2 半導體材料的基本電學特性
1 2 3 半導體材料的材料結構特性
1 3 半導體材料的應用和產業
1 3 1 半導體材料在微電子產業的應用
1 3 2 半導體材料在光電子產業的應用
1 3 3 半導體材料在太陽能光伏產業的應用
1 4 半導體材料的展望
習題1
第2章 半導體材料物理基礎
2 1 載流子和能帶
2 1 1 載流子和電導率
2 1 2 能帶結構
2 1 3 電子和空穴
2 2 雜質和缺陷能級
2 2 1 摻雜半導體材料
2 2 2 雜質能級
2 2 3 深能級
2 2 4 缺陷能級
2 3 熱平衡狀態下的載流子
2 3 1 載流子的狀態密度和統計分佈
2 3 2 本徵半導體的載流子濃度
2 3 3 摻雜半導體的載流子濃度和補償
2 4 非平衡少數載流子
2 4 1 非平衡載流子的產生、複合和壽命
2 4 2 非平衡載流子的擴散
2 4 3 非平衡載流子在電場下的漂移和擴散
2 5 PN結
2 5 1 PN結的製備
2 5 2 PN結的能帶結構
2 5 3 PN結的電流-電壓特性
2 6 金屬-半導體接觸和MIS結構
2 6 1 金屬-半導體接觸
2 6 2 歐姆接觸
2 6 3 MIS結構
習題2
參考文獻
第3章 半導體材料晶體生長原理
3 1 半導體晶體材料的生長方式
3 2 晶體生長的熱力學理論
3 2 1 晶體生長的自由能和驅動力
3 2 2 晶體生長的均勻成核
3 2 3 晶體生長的非均勻成核
3 3 晶體生長的動力學理論
3 3 1 晶體生長單原子層界面模型
3 3 2 晶體生長機制
3 4 晶體的外形控制
3 4 1 晶體外形和界面自由能的關係
3 4 2 晶體外形和晶體生長界面的關係
3 4 3 晶體外形和晶體生長方向的關係
習題3
參考文獻
第4章 半導體材料晶體生長技術
4 1 熔體生長技術
4 1 1 直拉晶體生長技術
4 1 2 布里奇曼晶體生長技術
4 1 3 區熔晶體生長技術
4 2 溶液生長技術
4 2 1 溶液降溫生長晶體技術
4 2 2 溶液恆溫蒸發生長晶體技術
4 2 3 溶液溫差水熱生長晶體技術
4 2 4 溶劑分凝(助溶劑法)生長晶體技術
4 2 5 溶液液相外延生長晶體技術
4 3 氣相生長技術
4 3 1 真空蒸發法
4 3 2 升華法
4 3 3 化學氣相沉積法
4 3 4 低維半導體材料的生長和製備
習題4
參考文獻
第5章 元素半導體材料的基本性質
5 1 硅材料
5 1 1 硅的基本性質和應用
5 1 2 硅的晶體結構
5 1 3 硅的能帶結構
5 1 4 硅的電學性質
5 1 5 硅的化學性質
5 1 6 硅的光學性質
5 1 7 硅的力學性質
5 1 8 硅的熱學性質
5 2 鍺材料的基本性質
5 3 碳材料的基本性質
習題5
參考文獻
第6章 元素半導體材料的提純和製備
6 1 金屬硅的製備
6 2 高純多晶硅的提純和製備
6 2 1 三氯氫硅工藝製備高純多晶硅
6 2 2 硅烷熱分解工藝製備高純多晶硅
6 2 3 流化床工藝製備高純多晶硅
6 2 4 其他化學提純工藝製備高純多晶硅
6 2 5 物理冶金工藝製備太陽能級多晶硅
6 3 高純鍺半導體材料的提純和製備
6 3 1 鍺半導體材料的應用
6 3 2 金屬鍺的製備
6 3 3 高純鍺的製備
6 3 4 單晶鍺的製備
習題6
參考文獻
第7章 區熔單晶硅的生長和製備
7 1 分凝現象和分凝係數
7 1 1 分凝現象和平衡分凝係數
7 1 2 有效分凝係數
7 1 3 正常凝固和雜質分佈
7 2 區熔晶體生長理論
7 3 區熔單晶硅生長
習題7
參考文獻
第8章 直拉單晶硅的生長和製備
8 1 直拉單晶硅的生長工藝
8 1 1 直拉單晶硅生長的基本工藝
8 1 2 直拉單晶硅生長的主要控制因素
8 2 直拉單晶硅的新型生長工藝
8 2 1 磁控直拉單晶硅生長工藝
8 2 2 重複裝料直拉單晶硅生長工藝
8 2 3 連續加料直拉單晶硅生長工藝
8 3 硅片加工工藝
8 3 1 晶錠切斷
8 3 2 晶錠滾圓和切方
8 3 3 晶錠切片
8 3 4 硅片化學腐蝕
8 3 5 硅片倒角
8 3 6 硅片研磨
8 3 7 硅片拋光
習題8
參考文獻
第9章 直拉單晶硅的雜質和缺陷
9 1 直拉單晶硅的摻雜
9 1 1 直拉單晶硅的摻雜劑
9 1 2 直拉單晶硅的摻雜技術
9 1 3 直拉單晶硅的摻雜量
9 2 直拉單晶硅的雜質
9 2 1 氧雜質
9 2 2 碳雜質
9 2 3 氮雜質
9 2 4 鍺雜質
9 2 5 氫雜質
9 2 6 金屬雜質
9 3 直拉單晶硅的缺陷
9 3 1 單晶硅原生缺陷
9 3 2 硅片加工誘生缺陷
9 3 3 器件工藝誘生缺陷
習題9
參考文獻
第10章 硅薄膜半導體材料
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