場發射掃描電鏡的理論與實踐 李永良 徐馳 李文雄 9787115631954 【台灣高等教育出版社】

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書名:場發射掃描電鏡的理論與實踐
ISBN:9787115631954
出版社:人民郵電
著編譯者:李永良 徐馳 李文雄
叢書名:儀器分析測試前沿理論與應用實踐系列
頁數:212
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1630165
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內容簡介

場發射掃描電鏡的出現,標誌若掃描電鏡進入一個嶄新的時代,掃描電鏡技術取得了巨大進步。新型電子槍、浸沒式物鏡、穿鏡二次電子探測器、模擬背散射、E×B和電子束減速等新技術的應用,極大地提高了掃描電鏡的性能,場發射掃描電鏡已經成為各類分析測試實驗室的儀器。 本書系統地論述了掃描電鏡基礎理論、掃描電鏡的結構和成像原理,通過實操案例詳細地介紹了掃描電鏡的調試和參數選擇,重點介紹了樣品製備及場發射掃描電鏡在生物、環境和材料領域中的應用。 本書適合材料、化學、生物、微電子、半導體和環境等領域的科研院所和高校相關專業師生閱讀,可為相關行業研究人員和從業者提供有益參考。

作者簡介

李永良 北京師範大學分析測試中心副研究員,1988年入職北京師範大學分析測試中心電鏡室,負責管理日立X-650掃描電鏡和H-600透射電鏡。2005年開始管理日立S-4800冷場發射掃描電鏡,2009年開始管理賽默飛TF-20場發射透射電鏡。從事電子顯微鏡的教學和測試工作30餘年,對電子顯微鏡有著深刻的理解。在國內外期刊上合作發表論文超150篇,其中第一作者論文38篇。

目錄

第1章 掃描電鏡基礎理論
1 1 電子束與物質的相互作用
1 1 1 電子束成像
1 1 2 電子束照射樣品
1 1 3 彈性散射
1 1 4 非彈性散射
1 1 5 電子束與物質相互作用體積的估算
1 2 背散射電子的產生與性質
1 2 1 背散射電子的來源
1 2 2 影響背散射電子信號的因素
1 2 3 背散射電子的分佈
1 3 二次電子的產生與性質
1 3 1 二次電子的來源
1 3 2 二次電子的能量分佈
1 3 3 二次電子的逸出深度
1 3 4 二次電子產額與原子序數的關係
1 3 5 二次電子產額與樣品傾轉角的關係
1 3 6 二次電子產額與入射電子束能量的關係
1 3 7 二次電子的角分佈
1 3 8 二次電子的空間分佈特性
1 4 特徵X射線的產生與性質
1 4 1 特徵X射線產生原理
1 4 2 熒光產額
1 4 3 特徵X射線族
1 4 4 特徵X射線的命名
1 4 5 特徵X射線強度
1 5 連續X射線的產生與性質
1 5 1 韌致輻射強度
1 5 2 X射線的完整能譜
1 5 3 產生X射線的電子射程範圍
第2章 掃描電鏡的結構和成像原理
2 1 掃描電鏡的結構
2 1 1 電子光學系統
2 1 2 信號收集系統
2 1 3 圖像顯示系統
2 1 4 真空系統
2 1 5 電源供給系統
2 2 掃描電鏡探測器
2 2 1 背散射電子和二次電子的特性
2 2 2 背散射電子探測器
2 2 3 二次電子探測器
2 2 4 樣品本身作為探測器
2 2 5 探測器參數
2 3 掃描電鏡圖像形成原理
2 3 1 通過掃描創建圖像
2 3 2 解析度
2 3 3 放大倍數、圖像尺寸和標尺
2 4 掃描電鏡圖像
2 4 1 背散射電子像
2 4 2 二次電子像
2 4 3 掃描電鏡圖像校準
2 5 電子束參數
2 5 1 電子束能量
2 5 2 電子束束斑直徑
2 5 3 電子束束流強度和束流密度
2 5 4 電子束會聚角
2 5 5 電子束立體角
2 5 6 電子束亮度
2 5 7 聚焦狀態與工作距離
2 6 掃描電鏡的成像模式
2 6 1 高景深模式
2 6 2 高束流模式
2 6 3 高解析度模式
2 6 4 低加速電壓模式
第3章 掃描電鏡的調試和參數選擇
3 1 掃描電鏡調試
3 1 1 機械對中
3 1 2 電磁對中
3 1 3 像散校正
3 2 工作參數選擇
3 2 1 探測器
3 2 2 模擬背散射
3 2 3 加速電壓
3 2 4 減速模式
3 2 5 工作距離
3 3 掃描電鏡圖像缺陷
3 3 1 圖像散焦
3 3 2 荷電
3 3 3 輻照損傷
3 3 4 莫爾干涉條紋
3 3 5 樣品污損
第4章 掃描電鏡樣品製備
4 1 粉末樣品的製備
4 1 1 超聲分散法
4 1 2 直接分散法
4 2 截面樣品的製備
4 2 1 截面樣品台
4 2 2 硅片上沉積膜的截面樣品製備
4 2 3 玻璃片上沉積膜的截面樣品製備
4 2 4 金屬薄片基底上沉積膜的截面樣品製備
4 2 5 鋰電池正負極材料的截面樣品製備
4 2 6 厚膜截面樣品製備
4 2 7 陶瓷微球截面樣品製備
4 2 8 軟膜截面樣品製備
4 3 磁性材料樣品的製備
4 4 生物樣品的製備
4 5 噴鍍導電塗層
4 6 樣品清洗
第5章 場發射掃描電鏡在生物、環境和材料領域中的應用
5 1 在植物花粉研究中的應用
5 1 1 樣品製備
5 1 2 掃描電鏡參數選擇
5 1 3 幾種植物花粉的形貌
5 2 在納米材料研究中的應用
5 2 1 樣品製備
5 2 2 納米ZnO
5 2 3 納米TiO2
5 2 4 納米PbS
5 2 5 其他納米化合物
5 3 在PM2 5顆粒物研究中的應用
5 4 在建築材料研究中的應用
5 5 在沉積膜研究中的應用
5 5 1 Fe和Al2O3多層膜
5 5 2 光學元件
5 5 3 TiAlSiN膜
5 6 在磁性粉末研究中的應用
5 7 在納米催化劑研究中的應用
參考閱讀
附錄 書中符號說明
後記
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