*完成訂單後正常情形下約兩周可抵台。 *本賣場提供之資訊僅供參考,以到貨標的為正確資訊。 印行年月:202311*若逾兩年請先於私訊洽詢存貨情況,謝謝。 台灣(台北市)在地出版社,每筆交易均開具統一發票,祝您中獎最高1000萬元。 書名:MEMS法珀腔光學聲傳感器 ISBN:9787121466953 出版社:電子工業 著編譯者:鄭永秋 陳佳敏 武麗雲 叢書名:工業信息化技術叢書 頁數:220 所在地:中國大陸 *此為代購商品 書號:1597591 可大量預訂,請先連絡。 內容簡介 MEMS法珀腔光學聲感測器是新一代工業及信息技術發展的核心聲感測器件。本書系統地論述了MEMS法珀腔光學聲感測器的感測機理、法珀腔聲敏感結構的優化設計及製備、調相譜檢測的聲信號解調技術等,還對MEMS法珀腔光學聲感測器進行了測試與分析。本書在注重機理分析的同時,將理論與實踐相結合,具有較強的系統性、理論性和實用性,對從事MEMS光學聲感測技術研究、設計、製造和應用的科技人員有一定的參考價值,也可作為相關專業本科生和研究生的教學參考書。作者簡介 鄭永秋,博士,中北大學副教授,碩士生導師。山西省「三晉英才」青年優秀人才,山西省優秀青年基金獲得者,山西省光學學會理事,中北大學「太行學者」、青年學術帶頭人,《紅外與激光工程》青年編委,國家自然科學基金函評專家,中國航天科工集團第六研究院特聘高級專家。主要從事航天動力燃燒場測試技術研究,主持有國家自然科學基金重點項目、國家重點研發計劃課題、173計劃重點基金、軍委裝備發展部領域基金、山西省國防科工局基礎科研(重點)課題等國家和省部級項目。獲山西省技術發明二等獎1項(排名第1)。目錄 第1章 概述1 1 引言 1 2 光學聲感測器的發展現狀 1 2 1 間接耦合型光學聲感測器 1 2 2 直接耦合型光學聲感測器 1 3 光學聲感測器的MEMS製備工藝 1 3 1 微結構光纖光柵的MEMS製備工藝 1 3 2 光纖干涉儀的MEMS製備工藝 1 3 3 微諧振腔的MEMS製備工藝 1 4 光學聲感測器的發展趨勢 第2章 MEMS法珀腔光學聲感測機理 2 1 聲信號傳播基本特性 2 1 1 聲波的物理特性 2 1 2 聲波探測的重要評價指標 2 2 MEMS法珀腔聲感測機理 2 2 1 聲壓致空氣折射率改變理論分析 2 2 2 法珀腔原理和特徵參數 2 2 3 聲-光多物理場耦合聲敏感機理 2 3 MEMS法珀腔聲敏感響應特性 2 3 1 寬頻帶響應特性 2 3 2 高靈敏度響應特性 2 3 3 大動態範圍響應特性 第3章 MEMS法珀腔聲感測結構設計方法 3 1 全剛性法珀腔結構設計 3 2 穩定法珀腔聚焦特性 3 3 光聲共焦法珀腔感測結構設計 第4章 基於光膠工藝的法珀腔製備方法 4 1 光膠工藝 4 2 基於光膠工藝的法珀腔製備 4 3 法珀腔聲感測器的耦合封裝 4 3 1 光纖准直器的耦合特性 4 3 2 光纖准直器與法珀腔的耦合對準 4 3 3 法珀腔聲感測器的封裝 第5章 基於直接鍵合工藝的法珀腔製備方法 5 1 室溫自發預鍵合 5 1 1 預鍵合模型 5 1 2 預鍵合關鍵工藝 5 2 直接鍵合材料特性分析 5 3 直接鍵合法珀腔製備 5 3 1 「三明治」式敞口法珀腔結構設計 5 3 2 石英玻璃MEMS直接鍵合工藝 5 3 3 石英玻璃磁控濺射及划片工藝 5 3 4 鍵合界面表徵及鍵合質量測試 5 3 5 尾纖式全固態微型法珀腔封裝工藝 5 4 法珀腔光學特性測試 5 4 1 空間光學耦合測試 5 4 2 光纖耦合測試 第6章 光纖聲感測聲信號解調方法 6 1 光纖聲感測器常用的信號解調技術 6 1 1 強度解調技術 6 1 2 相位解調技術 6 2 調相譜檢測技術 6 2 1 相位調製原理 6 2 2 同步解調誤差信號分析 6 3 諧振頻率追蹤與鎖定技術 第7章 法珀腔聲感測性能測試系統和方法 7 1 測試系統搭建及測試方法 7 2 基於調相譜技術的法珀腔聲感測測試 7 3 基於不同品質因數的法珀腔聲感測測試 7 4 法珀腔聲感測器實際工程應用測試 7 4 1 方向性測試 7 4 2 振動測試 7 4 3 高溫測試 7 4 4 高聲壓測試 參考文獻 詳細資料或其他書籍請至台灣高等教育出版社查詢,查後請於PChome商店街私訊告知ISBN或書號,我們即儘速上架。 |