圖解入門-半導體器件缺陷與失效分析技術精講 9787111749622 日本可靠性技術叢書編輯委員會

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物品所在地:中國大陸
原出版社:機械工業
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書名:圖解入門-半導體器件缺陷與失效分析技術精講
ISBN:9787111749622
出版社:機械工業
著編譯者:日本可靠性技術叢書編輯委員會
頁數:159
所在地:中國大陸 *此為代購商品
書號:1619559
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內容簡介

本書共分為4章,內容包括半導體器件缺陷及失效分析技術概要、硅集成電路(LSI)的失效分析技術、功率器件的缺陷及失效分析技術、化合物半導體發光器件的缺陷及失效分析技術。筆者在書中各處開設了專欄,用以介紹每個領域的某些方面。在第2∼4章的末尾各列入了3道例題,這些例題出自日本科學技術聯盟主辦的「初級可靠性技術者」資格認定考試,題型為5選1,希望大家可以利用這些例題來測試一下自身的水平。 本書的讀者包括:半導體器件工藝及器件的相關技術人員,可靠性技術人員,失效分析技術人員,試驗、分析、實驗的負責人,以及大學生、研究生等。因此,羅列的內容層次從基礎介紹到最新研究,覆蓋範圍較廣。

作者簡介

汪久龍,畢業於中科院半導體研究所材料工程專業,碩士學位。目前在北京智慧能源研究院從事碳化硅外延材料生長工藝開發工作。

目錄

前言
第1章 半導體器件缺陷及失效分析技術概要
1 1 失效分析的定位
1 2 缺陷分析的定位
1 3 用於缺陷及失效分析的分析工具概要
專欄:NANOTS的成立與更名
第1章參考文獻
第2章 硅集成電路(LSI)的失效分析技術
2 1 失效分析的步驟和近8年新開發或普及的技術
2 2 封裝部件的失效分析
2 3 晶元部件失效分析過程和主要失效分析技術一覽
2 4 晶元部件的無損分析方法
2 5 晶元部件的半破壞性分析
2 6 物理和化學分析方法
專欄:應該如何命名
第2章練習題
第2章縮略語表
第2章參考文獻
第3章 功率器件的缺陷及失效分析技術
3 1 功率器件的結構和製造工藝
3 2 由晶圓製造工藝引起的器件缺陷及失效分析技術
專欄:晶圓背面狀態對工藝的影響
3 3 由晶元製造工藝引起的器件缺陷及失效分析技術
專欄:鹼金屬的加速氧化
3 4 由模塊製造工藝引起的設備缺陷及失效分析技術
3 5 功率器件的其他分析技術
專欄:增大用於功率器件的晶圓直徑
第3章練習題
第3章參考文獻
第4章 化合物半導體發光器件的缺陷及失效分析技術
4 1 化合物半導體發光器件的工作原理和結構
4 2 化合物半導體發光器件的可靠性(以半導體激光器為例)
4 3 化合物半導體發光器件的可靠性測試
4 4 化合物半導體發光器件缺陷及失效分析的基本技術
4 5 化合物半導體發光器件缺陷及失效分析流程圖
專欄:高速增長的VCSEL市場,可靠性沒問題?不!
第4章練習題
第4章縮略語表
第4章參考文獻

作者簡介


練習題答案

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