微電子工藝實驗教程 王玨 9787121506901 【台灣高等教育出版社】

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書名：微電子工藝實驗教程
ISBN：9787121506901
出版社：電子工業
著編譯者：王玨
頁數：172
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1745312
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內容簡介
本書是根據微電子工藝實驗的基本教學要求編寫的，秉持”理論與實踐並重”的理念，在內容安排上注重對學生實驗技能的培養。全書精心設計了12個實驗，包括1個工藝仿真基礎實驗、6個單步工藝實驗和5個成套工藝實驗。每個實驗均配有詳細的操作指導，還安排了啟發性思考題和拓展實驗內容，便於開展分層教學，各校可根據自己的需求選做。本書可作為高等院校微電子科學與工程、集成電路設計與集成系統、電子信息工程等專業的實驗教材，也可作為集成電路製造工藝領域工程技術人員的參考用書。

作者簡介
王鈺，浙大城市學院信息與電氣工程學院副教授、浙江大學/浙江工業大學碩導，近年的研究方向側重於碳化硅功率器件、功率集成芯片、電源管理集成芯片設計與研究工作。授權5項美國發明專利，3項中國專利。

目錄

緒論
實驗1 工藝仿真實驗基礎及襯底特性分析
1 1 實驗目的
1 2 工藝仿真的原理
1 3 實驗內容
1 3 1 對二維結構進行網格劃分和稠密度設置
1 3 2 對襯底進行設置
1 3 3 分工藝類型進行仿真
1 3 4 調用工藝仿真器完成仿真並查看結果
1 4 主要儀器設備
1 5 操作方法與實驗步驟
1 5 1 基礎準備工作
1 5 2 晶圓襯底準備
1 5 3 完成單步工藝
1 6 思考題
1 7 拓展實驗
實驗2 光刻與刻蝕工藝分析與應用
2 1 實驗目的
2 2 實驗原理
2 2 1 工藝定義
2 2 2 工藝原理
2 2 3 光刻工藝形成方法及設備
2 2 4 刻蝕工藝形成方法及設備
2 3 實驗內容
2 4 主要儀器設備
2 5 操作方法與實驗步驟
2 5 1 基礎準備工作
2 5 2 實驗過程及提示
2 6 實驗結果分析
2 7 思考題
2 8 拓展實驗
實驗3 氧化工藝分析與應用
3 1 實驗目的
3 2 實驗原理
3 2 1 工藝定義
3 2 2 工藝原理
3 2 3 工藝設備及影響因素
3 2 4 具體實踐案例
3 3 實驗內容
3 4 主要儀器設備
3 5 操作方法與實驗步驟
3 5 1 基礎準備工作
3 5 2 實驗過程及提示
3 6 實驗結果分析
3 7 思考題
3 8 拓展實驗
實驗4 離子注入工藝分析與應用
4 1 實驗目的
4 2 實驗原理
4 2 1 工藝定義
4 2 2 工藝原理
4 2 3 工藝設備及影響因素
4 2 4 具體實踐案例
4 3 實驗內容
4 4 主要儀器設備
4 5 操作方法與實驗步驟
4 5 1 基礎準備工作
4 5 2 實驗過程及提示
4 6 實驗結果分析
4 7 思考題
4 8 拓展實驗
實驗5 擴散和退火工藝分析與應用
5 1 實驗目的
5 2 實驗原理
5 2 1 工藝定義
5 2 2 工藝原理
5 2 3 工藝設備及影響因素
5 2 4 具體實踐案例
5 3 實驗內容
5 4 主要儀器設備
5 5 操作方法與實驗步驟
5 5 1 基礎準備工作
5 5 2 實驗過程及提示
5 6 實驗結果分析
5 7 思考題
5 8 拓展實驗
實驗6 薄膜澱積和外延工藝分析與應用
6 1 實驗目的
6 2 實驗原理
6 2 1 工藝定義
6 2 2 工藝原理
6 2 3 工藝形成方法及影響因素
6 2 4 具體實踐案例
6 3 實驗內容
6 4 主要儀器設備
6 5 操作方法與實驗步驟
6 5 1 基礎準備工作
6 5 2 實驗過程及提示
6 6 實驗結果分析
6 7 思考題
6 8 拓展實驗
實驗7 金屬化後道工藝分析與應用
7 1 實驗目的
7 2 實驗原理
7 2 1 工藝定義
7 2 2 工藝原理
7 2 3 工藝形成方法及影響因素
7 2 4 具體實踐案例
7 3 實驗內容
7 4 主要儀器設備
7 5 操作方法與實驗步驟
7 5 1 基礎準備工作
7 5 2 實驗過程及提示
7 6 實驗結果分析
7 7 思考題
7 8 拓展實驗
實驗8 電阻成套工藝分析與應用
8 1 實驗目的
8 2 實驗原理―集成電路中電阻的類型和結構
8 3 實驗內容
8 4 主要儀器設備
8 5 操作方法與實驗步驟
8 5 1 基礎準備工作
8 5 2 實驗過程及提示
8 6 實驗結果分析
8 7 思考題
8 8 拓展實驗
實驗9 二極管成套工藝分析與應用
9 1 實驗目的
9 2 實驗原理
9 2 1 二極管的工作機理
9 2 2 歐姆接觸
9 3 實驗內容
9 4 主要儀器設備
9 5 操作方法與實驗步驟
9 5 1 基礎準備工作
9 5 2 實驗過程及提示
9 6 實驗結果分析
9 7 思考題
9 8 拓展實驗
實驗10 JFET和MESFET成套工藝分析與應用
10 1 實驗目的
10 2 實驗原理
10 2 1 JFET工作原理
10 2 2 MESFET工作原理
10 3 實驗內容
10 3 1 JFET製作工藝流程
10 3 2 MESFET製作工藝流程
10 4 主要儀器設備
10 5 操作方法與實驗步驟
10 5 1 基礎準備工作
10 5 2 實驗過程及提示
10 6 實驗結果分析
10 7 思考題
10 8 拓展實驗
實驗11 BJT成套工藝分析與應用
11 1 實驗目的
11 2 實驗原理―BJT工作原理
11 3 實驗內容
11 4 主要儀器設備
11 5 操作方法與實驗步驟
11 5 1 基礎準備工作
11 5 2 實驗過程及提示
11 6 實驗結果分析
11 7 思考題
11 8 拓展實驗
實驗12 MOSFET成套工藝分析與應用
12 1 實驗目的
12 2 實驗原理―MOSFET工作原理
12 3 實驗內容
12 4 主要儀器設備
12 5 操作方法與實驗步驟
12 5 1 基礎準備工作
12 5 2 實驗過程及提示
12 6 實驗結果分析
12 7 思考題
12 8 拓展實驗
參考文獻

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