內容簡介
《薄膜晶體管材料與技術》是戰略性新興領域「十四五」高等教育教材體系——「先進功能材料與技術」系列教材之一。本書歸納薄膜晶體管(TFT)材料、器件及製備技術,總結和梳理TFT相關的基礎理論知識,包括材料物理與化學、器件物理、工藝原理以及實際應用設計原理,進一步提出新見解,為TFT技術的發展提供理論指導和方向參考。本書以TFT半導體材料作為主線,無機和有機材料相結合、材料與器件相結合、理論和實際應用相結合、經典理論與最新前沿理論相結合,涵蓋了TFT的相關理論、研究方向和最新進展。 本書適合作為電子信息類、微電子類、光電工程類、功能材料類等專業的本科生及研究生教材,也適用於顯示領域相關工程技術人員作為參考書籍。目錄
1 緒論