微細加工技術 張甲 王振龍 周麗傑 9787576710090 【台灣高等教育出版社】

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書名：微細加工技術
ISBN：9787576710090
出版社：哈爾濱工業大學
著編譯者：張甲 王振龍 周麗傑
頁數：313
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1711058
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內容簡介

本書從當前微納零件及微系統的製造需求從發，論述了微納尺度下力學、熱學、光學、電學等的變化特點，進而從加工原理、加工裝備、加工工藝等方面系統地闡述了各類微細加工技術的新進展。全書共分為11章，主要包括：微細加工技術概述、微機械與微細加工理論基礎、微細切削加工技術、微細電火花加工技術、高能場微細加工技術、生長型微細加工技術、硅微細加工技術、LIGA技術、納米壓印技術、自組裝加工技術和掃描探針加工技術。隨著科技的進步，所論述的微細加工技術也具備了納米尺度的加工能力，因此本書中的微細加工也涵蓋納米加工尺度。 本書可作為高等學校機械類及相近學科本科生、研究生用書，也可供相關領域工程技術人員學習和參考。

作者簡介

張甲，哈爾濱工業大學長聘教授，博士生導師。曾在美國加州大學伯克利分校、英國諾桑比亞大學、蘇格蘭薄膜國家實驗室等機構從事博士后及訪問學者研究。入選中國科協首批「青年人才托舉工程」計劃、黑龍江省高層次人才（B類）、黑龍江省「頭雁團隊」骨幹成員等。現任中國機械工程學會特種加工分會、中國儀器儀錶學會微納器件與系統分會、中國微米納米技術學會理事；擔任International Journal of Extreme Manufacturing、Micromachines等多本期刊的編委。主持國家自然科學基金優秀青年基金、國家重點研發計劃青年科學家項目、黑龍江省自然科學基金優秀青年基金、黑龍江省「百千萬」工程科技重大專項等。迄今，已在NatureElectronics、Nature Communications、Advanced Materials、Advanced Intelligent Systems等國際著名期刊上發表SCI論文70餘篇，其中封面論文10篇，SCI他引3000餘次。獲黑龍江省自然科學一等獎2項（2015年/2020年）；授權國家發明專利15項；出版專著3部。研究方向：柔性電子器件設計、製造與應用，機器人智能感知，智慧醫療微系統，高性能微納感測器等。

目錄

第1章 微細加工技術概述
1 1 微機械及微機電系統
1 2 微細加工技術的概念及其特點
1 3 微細加工技術的分類
1 4 微細加工技術的應用
第2章 微機械與微細加工理論基礎
2 1 微機械學
2 2 微電子學
2 3 微光學
2 4 分子裝配技術
2 5 微細加工機理總結
第3章 微細切削加工技術
3 1 微細切削加工技術概述
3 2 微細車削加工技術
3 3 微細銑削加工技術
3 4 微細鑽削加工技術
3 5 微細衝壓加工技術
3 6 微細磨削加工技術
3 7 微細磨料水射流加工技術
第4章 微細電火花加工技術
4 1 微細電火花加工技術概述與特點
4 2 微細電火花加工關鍵技術
4 3 微細電火花成形加工技術
4 4 微細電火花銑削加工技術
4 5 微細電火花線切割加工技術
4 6 微細電化學加工技術
第5章 高能場微細加工技術
5 1 概述
5 2 電子束微細加工技術
5 3 離子束微細加工技術
5 4 超快激光束微細加工技術
5 5 超聲波微細加工技術
第6章 生長型微細加工技術
6 1 概述
6 2 真空鍍膜技術
6 3 物理氣相沉積技術
6 4 化學氣相沉積技術
6 5 典型薄膜的製備
6 6 電鍍技術
6 7 噴塗技術
6 8 微弧氧化技術
6 9 電火花沉積陶瓷層技術
第7章 硅微細加工技術
7 1 概述
7 2 光刻技術
7 3 硅摻雜技術
7 4 硅刻蝕技術
第8章 LIGA技術
8 1 LIGA技術概述
8 2 准LIGA技術概述
8 3 LIGA技術的拓展
8 4 LIGA技術在微細三維結構製造中的應用
第9章 納米壓印技術
9 1 納米壓印技術概述
9 2 納米壓印關鍵工藝
9 3 納米壓印技術分類
第10章 自組裝加工技術
10 1 自組裝加工技術概述
10 2 自組裝的基本原理、分類及特點
10 3 典型自組裝方法
10 4 典型自組裝微納結構
第11章 掃描探針加工技術
11 1 概述
11 2 掃描隧道顯微鏡
11 3 原子力顯微鏡
11 4 AFM微納加工技術
參考文獻

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