高性能MEMS慣性器件技術 劉福民 王巍 劉國文等 9787515924496 【台灣高等教育出版社】

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書名：高性能MEMS慣性器件技術
ISBN：9787515924496
出版社：中國宇航
著編譯者：劉福民 王巍 劉國文等
頁數：406
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1702722
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內容簡介

本書從MEMS慣性器件研究和設計的角度，系統論述了高性能MEMS慣性器件的工作原理、誤差機理、設計與工藝技術等方面的理論、方法和關鍵技術。全書共6章，主要包括MEMS陀螺儀和MEMS加速度計的基本原理、MEMS陀螺儀典型結構及誤差機理、高性能MEMS陀螺儀關鍵技術、MEMS加速度計典型結構及誤差機理、高性能MEMS加速度計關鍵技術以及高性能MEMS慣性器件工藝技術等內容。 本書注重研究內容的系統性、創新性和實用性，研究內容、理論方法與工程實踐緊密結合，可供從事MEMS慣性器件、慣性導航與控制系統技術研究和產品研製的科技人員和高等院校相關專業師生參考。

目錄

第1章 概述
1 1 微小型慣性器件技術發展概況
1 1 1 慣性器件技術概述
1 1 2 微小型陀螺儀技術發展概況
1 1 3 微小型加速度計技術發展概況
1 1 4 高性能MEMS慣性器件的主要特徵
1 2 MEMS慣性器件關鍵技術
1 2 1 MEMS慣性器件結構設計技術
1 2 2 MEMS慣性器件工藝製造技術
1 2 3 MEMS慣性器件專用集成電路技術
1 3 MEMS慣性器件性能指標體系
1 3 1 常規物理特性指標
1 3 2 靜態精度指標
1 3 3 動態性能指標
1 3 4 環境適應性指標
1 4 MEMS慣性器件發展及應用趨勢
第2章 MEMS陀螺儀典型結構及誤差機理
2 1 MEMS陀螺儀工作原理
2 1 1 哥氏效應原理
2 1 2 MEMS陀螺儀動力學方程
2 1 3 靜電驅動原理
2 1 4 電容檢測原理
2 2 MEMS陀螺儀的常見典型結構形式
2 2 1 線振動式MEMS陀螺儀
2 2 2 角振動式MEMS陀螺儀
2 2 3 振動環式MEMS陀螺儀
2 3 MEMS陀螺儀典型結構設計
2 3 1 雙質量塊MEMS陀螺儀典型結構設計
2 3 2 四質量塊MEMS陀螺儀典型結構設計
2 4 單片三軸MEMS陀螺儀典型結構
2 4 1 單片三軸MEMS陀螺儀概述
2 4 ，2三軸敏感結構相對獨立的結構方案
2 4 3 水平雙軸敏感十之軸敏感的結構方案
2 4 4 三軸一體化設計方案
2 5 典型MEMS陀螺儀誤差機理分析
2 5 1 MEMS陀螺儀隨機誤差
2 5 2 MEMS陀螺儀正交耦合誤差
2 5 3 MEMS陀螺儀同相耦合誤差
2 5 4 MEMS陀螺儀g敏感性誤差
2 5 5 MEMS陀螺儀溫度誤差
2 5 6 MEMS陀螺儀力學環境誤差
2 6 MEMS陀螺儀誤差抑制方法
2 6 1 MEMS陀螺儀雜訊抑制
2 6 2 MEMS陀螺儀正交誤差抑制方法
2 6 3 MEMS陀螺儀溫度誤差抑制與補償技術
2 6 4 MEMS陀螺儀非線性誤差抑制技術
第3章 高性能MEMS陀螺儀關鍵技術
3 1 高性能MEMS陀螺儀驅動與信號檢測技術
3 1 1 微小電容檢測技術
3 1 2 MEMS陀螺儀驅動控制技術
3 1 3 MEMS陀螺儀解調檢測技術
3 2 高性能MEMS陀螺儀閉環控制技術
3 2 1 檢測軸力平衡閉環技術
3 2 2 MEMS陀螺儀正交剛度校正技術
3 2 3 檢測軸頻率調諧技術
3 3 高性能MEMS陀螺儀控制電路技術
3 3 1 MEMS陀螺儀ASIC的主要功能構成
3 3 2 MEMS陀螺儀模擬驅動電路
3 3 3 MEMS陀螺儀模擬檢測電路
3 3 4 MEMS陀螺儀數字控制電路
3 3 5 MEMS陀螺儀ASIC中的其他重要模塊
3 4 應用環境條件下高性能MEMS陀螺儀精度提高技術
3 4 1 高性能MEMS陀螺儀長期穩定性技術
3 4 2 溫度環境條件下精度保持技術
3 4 3 振動衝擊等力學環境下精度保持技術
3 5 應用條件下高性能MEMS陀螺儀相關工程性能提升技術
3 5 1 高性能MEMS陀螺儀量程設計
3 5 2 MEMS陀螺儀快速啟動技術
3 5 3 MEMS陀螺儀帶寬設計
3 6 高性能MEMS陀螺儀相關測試技術
3 6 1 高性能MEMS陀螺儀測試的特點
3 6 2 高性能MEMS陀螺儀溫度環境精度測試
3 6 3 陀螺儀力學環境特性測試
3 7 動態應用環境下典型高性能MEMS陀螺儀性能提升技術
3 7 1 彈旋頻率測量用大量程MEMS陀螺儀性能提升技術
3 7 2 高速旋轉導彈偏航MEMS陀螺儀性能提升技術
第4章 MEMS加速度計典型結構及誤差機理
4 1 MEMS加速度計工作原理
4 2 MEMS加速度計典型結構形式
4 2 1 「三明治」式MEMS加速度計
4 2 2 梳齒式MEMS加速度計
4 2 3 扭擺式MEMS加速度計
4 2 4 諧振式MEMS加速度計
4 3 典型MEMS加速度計結構設計
4 3 1 「三明治」MEMS加速度計結構設計
4 3 2 梳齒式MEMS加速度計結構設計
4 3 3 扭擺式MEMS加速度計結構設計
4 3 4 諧振式MEMS加速度計結構設計
4 4 單片三軸MEMS加速度計結構設計
4 4 1 單敏感質量結構
4 4 2 多敏感質量結構
4 5 MEMS加速度計誤差機理分析
4 5 1 MEMS加速度計誤差模型
4 5 2 MEMS加速度計的本徵性誤差
4 5 3 MEMS加速度計的環境因素誤差
4 5 4 MEMS加速度計誤差抑制方法
4 6 MEMS加速度計工程化需考慮的因素
4 6 1 結構設計及加工中的工程化考慮因素
4 6 2 電路設計中的工程化考慮因素
4 6 3 測試與補償中的工程化考慮因素
第5章 高性能MEMS加速度計關鍵技術
5 1 高性能MEMS加速度計結構設計技術
5 1 1 高性能MEMS加速度計綜合精度提升技術
5 1 2 高性能MEMS加速度計全溫性能結構優化技術
5 1 3 高性能MEMS加速度計抗高過載技術
5 2 高性能MEMS加速度計控制系統
5 2 1 高性能MEMS加速度計閉環控制系統模型
5 2 2 高性能MEMS加速度計電學模型化技術
5 3 高性能MEMS加速度計控制電路技術
5 3 1 高性能MEMS加
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