內容簡介
本書基於國產EDA軟體Empyrean Xmodel器件模型提取工具,系統、全面地介紹硅基MOSFET和GaN HEMT的器件建模、測試分析和參數提取的設計和實驗全流程。本書在簡要介紹半導體器件的基本理論、測試結構和測試方案的基礎上,詳細闡述MOSFET BSIM模型和參數提取實驗、Xmodel集成的數據圖形化顯示系統、MOSFET器件直流模型和射頻模型的提取實驗、基於ASM-HEMT模型的GaN功率器件和射頻器件的模型參數提取實驗等,以及半導體器件中常見的各種二階效應(如短溝道效應、版圖鄰近效應、工藝角模型和溫度特性等)非線性模型參數的提取和驗證方法。本書力求做到理論與實踐相結合,可作為高校半導體相關專業高年級本科生和研究生的教材,也可供從事半導體器件研發的工程師參考。目錄
前言