金剛石膜的應用與拋光技術 苑澤偉 9787030738448 【台灣高等教育出版社】

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書名：金剛石膜的應用與拋光技術
ISBN：9787030738448
出版社：科學
著編譯者：苑澤偉
頁數：316
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1542612
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內容簡介

金剛石作為第四代半導體材料，具有極其優越的物理化學特性，在諸多高科技領域具有很好的應用前景。金剛石拋光技術的研究不但突破了金剛石在高科技領域的應用瓶頸，還帶動了一些新工藝、新方法和新技術的發展。本書以作者多年的科研成果為基礎，彙集國內外金剛石領域的最新進展，全面系統地對金剛石應用和拋光技術的重要成果進行了歸納和總結，內容主要包括：金剛石的結構及性能，金剛石膜的應用，金剛石膜的製備技術，金剛石膜的去除機理與拋光理論，金剛石膜的機械拋光技術、摩擦化學拋光技術、化學機械拋光技術、光催化輔助拋光技術及特種拋光技術，金剛石相關材料應用及加工技術。 本書可供高等院校機械和材料等相關專業師生、研究院所及相關領域企業的研發與應用人員參考。

目錄

前言
第1章 金剛石的結構及性能
1 1 金剛石的原子結構
1 2 金剛石的力學性能
1 2 1 金剛石的硬度
1 2 2 金剛石的解理與脆性
1 2 3 金剛石的強度
1 2 4 金剛石其他力學性能
1 3 金剛石的光學性能
1 4 金剛石的熱學性能
1 5 金剛石的電子學性能
1 6 金剛石的化學性能
參考文獻
第2章 金剛石膜的應用
2 1 金剛石膜在機械領域的應用
2 1 1 金剛石的定向
2 1 2 金剛石刀具
2 1 3 金剛石修整器
2 1 4 金剛石膜在醫療器械領域的應用
2 1 5 金剛石膜在其他機械領域的應用
2 2 金剛石膜在熱學領域的應用
2 2 1 金剛石熱沉片
2 2 2 金剛石散熱片
2 2 3 金剛石場發射散熱片
2 3 金剛石膜在光學領域的應用
2 3 1 超聲速飛行器紅外或雷達光學窗口
2 3 2 高功率激光窗口和微波窗口
2 3 3 苛刻環境下服役的光學窗口
2 3 4 金剛石膜在其他光學領域的應用
2 4 金剛石膜在聲學領域的應用
2 4 1 高保真聲學器件
2 4 2 SAW器件
2 5 金剛石膜在電學領域的應用
2 5 1 紫外探測器、輻射探測器
2 5 2 效應管、二極體
2 5 3 金剛石膜在集成電路光刻領域的應用
2 5 4 金剛石膜在其他電學領域的應用
2 6 金剛石膜的應用要求
2 7 金剛石膜的市場前景
參考文獻
第3章 金剛石膜的製備技術
3 1 概述
3 2 金剛石膜的CVD生長機理
3 3 熱絲CVD法
3 3 1 熱絲CVD法的基本原理
3 3 2 熱絲CVD過程中的化學反應
3 3 3 熱絲的選擇與碳化
3 3 4 電子輔助熱絲CVD
3 3 5 熱絲CVD法的基本工藝參數
3 4 微波等離子CVD法
3 4 1 常見微波等離子CVD裝置
3 4 2 其他類型的微波等離子CVD裝置
3 4 3 微波等離子CVD法的應用與展望
3 5 直流電弧等離子噴射CVD法
3 5 1 直流電弧等離子噴射CVD的原理
3 5 2 直流電弧等離子噴射CVD電弧特性及其影響
3 5 3 磁場對直流電弧等離子噴射CVD的影響
3 6 其他金剛石膜製備技術
3 6 1 燃燒火焰CVD
3 6 2 脈衝激光沉積
參考文獻
第4章 金剛石膜的去除機理與拋光理論
4 1 概述
4 2 金剛石拋光的材料去除機理
4 3 金剛石摩擦化學拋光理論
4 3 1 金剛石石墨化的化學熱力學分析
4 3 2 金剛石石墨化的化學動力學分析
4 3 3 加快金剛石石墨化反應的措施
4 3 4 摩擦化學拋光技術的催化機制及對拋光碟的要求
4 4 金剛石化學機械拋光理論
4 4 1 金剛石氧化的化學熱力學分析
4 4 2 金剛石氧化的化學動力學分析
4 4 3 加快金剛石氧化反應的措施
4 4 4 化學機械拋光動力學模型的建立
4 5 金剛石膜拋光過程接觸理論
4 5 1 摩擦化學拋光表面粗糙峰分佈模型
4 5 2 摩擦化學拋光動態接觸模型
4 5 3 摩擦化學拋光過程界面溫升模型
4 5 4 接觸模型的驗證與討論
4 6 金剛石膜拋光平坦化理論
4 6 1 拋光碟與工件的相對運動
4 6 2 模擬運動軌跡分析
參考文獻
第5章 金剛石膜的機械拋光技術
5 1 概述
5 2 遊離磨料機械拋光
5 2 1 試驗條件與檢測方法
5 2 2 試驗結果與分析
5 3 固結磨料機械拋光
5 3 1 試驗條件與檢測方法
5 3 2 電鍍金剛石盤粒度對拋光的影響
5 3 3 拋光時間對拋光的影響
5 3 4 拋光工藝參數對拋光的影響
5 3 5 金剛石膜材料機械拋光的去除機理
5 4 金剛石砂輪磨削
5 4 1 陶瓷結合劑金剛石砂輪磨削
5 4 2 金屬催化劑金剛石砂輪磨削
5 5 金剛石膜對磨拋光
5 6 單晶金剛石的機械拋光
參考文獻
第6章 金剛石膜的摩擦化學拋光技術
6 1 概述
6 2 摩擦化學拋光碟的製備
6 2 1 FeNiCr合金拋光碟
6 2 2 TiAl合金拋光碟
6 2 3 WMoCr合金拋光碟
6 3 摩擦化學拋光方法與裝置
6 4 金剛石膜摩擦化學拋光工藝
6 4 1 拋光碟材料對材料去除率的影響
6 4 2 拋光工藝參數對拋光溫度的影響
6 4 3 拋光工藝參數對材料去除率的影響
6 5 金剛石膜摩擦化學拋光機理
6 5 1 金剛石膜試樣的表面成分分析
6 5 2 拋光碟的表面成分分析
6 5 3 摩擦化學拋光的材料去除機理
6 6 金剛石的熱化學拋光
6 6 1 熱金屬盤拋光
6 6 2 熱擴散刻蝕
參考文獻
第7章 金剛石膜的化學機械拋光技術
7 1 概述
7 2 金剛石膜化學機械拋光關鍵技術分析
7 2 1 加熱條件
7 2 2 金剛石膜化學機械拋光試驗裝置的搭建
7 2 3 試樣的粘貼、清洗方案
7 2 4 拋光碟的選擇
7 3 化學機械拋光液的配製
7 3 1 磨料的選擇
7 3 2 氧化劑的選擇
7 3 3 K2FeO4拋光液的性能表徵
7 3 4 K2FeO4拋光液
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