目錄 第1章 常見電過應力的來源與表徵
1 1 電過應力的來源
1 1 1 概述
1 1 2 靜電與靜電放電
1 1 3 浪涌
1 1 4 閂鎖
1 2 電過應力的表徵
1 2 1 靜電放電的表徵
1 2 2 浪涌的表徵
1 2 3 閂鎖的表徵
本章要點
綜合理解題
第2章 片上防護設計通論
2 1 概述
2 1 1 電過應力防護途徑
2 1 2 片上防護要求
2 1 3 防護設計窗口
2 1 4 失效判據
2 2 片上防護器件
2 2 1 基於二極體
2 2 2 基於MOS
2 2 3 基於SCR
2 2 4 基於BJT
2 2 5 綜合比較
2 3 電源鉗位
2 3 1 電源鉗位的必要性
2 3 2 靜態鉗位
2 3 3 瞬態鉗位
2 3 4 鉗位電路的優化
2 4 片上防護架構
2 4 1 輸入防護架構
2 4 2 輸出防護架構
2 4 3 電源鉗位架構
2 4 4 總體防護架構
本章要點
綜合理解題
第3章 片上防護設計專論
3 1 RF CMOS防護
3 1 1 RF性能與片上防護的相互影響
3 1 2 RF寄生效應分析
3 1 3 RF CMOS防護設計
3 1 4 RFESD協同設計
3 2 功率芯片防護
3 2 1 基於LDMOS
3 2 2 基於BJT
3 2 3 基於SCR
3 2 4 電源鉗位
3 3 其他專用電路防護
3 3 1 高速CML緩衝I/O防護
3 3 2 混合電壓I/O防護
3 3 3 模擬放大器防護
3 4 片上安全防護設計
3 4 1 從芯片安全到安全芯片
3 4 2 硬體木馬及對策
本章要點
綜合理解題
第4章 片上防閂鎖設計
4 1 工藝設計
4 1 1 外延CMOS工藝
4 1 2 倒阱摻雜工藝
4 1 3 隔離工藝
4 1 4 三阱CMOS工藝
4 1 5 高摻雜埋層工藝
4 1 6 不同工藝的結合應用
4 2 版圖設計
4 2 1 內部保護環
4 2 2 I/O保護環
4 2 3 有源保護環
4 2 4 設計規則
4 3 電路設計
4 3 1 片上防護電路的防閂鎖優化
4 3 2 防閂鎖控制電路
4 3 3 多電源軌的防閂鎖設計
4 3 4 無源與有源瞬態鉗位電路
本章要點
綜合理解題
第5章 工藝對片上防護的影響
5 1 工藝與材料參數的影響
5 1 1 關鍵工藝參數的影響
5 1 2 CMOS工藝結構的影響
5 1 3 互連與層間介質材料的影響
5 2 工藝節點縮小的影響
5 2 1 對片上防護設計窗口的影響
5 2 2 對閂鎖的影響
5 3 納米級器件結構的影響
5 3 1 從體硅襯底到SOI襯底
5 3 2 從平面FET到FinFET
5 3 3 對片上防護參量的影響
5 3 4 對閂鎖的影響
5 4 新型片上防護器件
5 4 1 異質集成防護器件
5 4 2 納米棒與石墨烯
5 4 3 現場可編程防護器件
本章要點
綜合理解題
第6章 納米CMOS器件可靠性模型與模擬
6 1 納米CMOS器件可靠性面臨的挑戰
6 1 1 氧化層電場增強帶來的可靠性問題
6 1 2 新型器件結構帶來的可靠性問題
6 1 3 器件縮小到納米尺度后帶來的可靠性退化漲落問題
6 2 納米CMOS器件可靠性退化機理
6 2 1 熱載流子注入
6 2 2 偏置溫度不穩定性
6 2 3 柵介質經時擊穿
6 3 納米CMOS器件可靠性模型
6 3 1 熱載流子注入模型
6 3 2 BTI(偏置溫度不穩定性)緊湊模型
6 3 3 經時擊穿模型
6 4 納米CMOS工藝及器件可靠性模擬
6 4 1 TCAD工藝模擬
6 4 2 TCAD器件模擬
6 4 3 TCAD中的退化模型
6 4 4 TCAD器件模擬實例
6 5 納米CMOS電路可靠性模擬
6 5 1 早期可靠性模擬方法
6 5 2 用於可靠性模擬的商用工具
6 5 3 CMOS電路可靠性模擬實例
本章要點
綜合理解題
附錄A 縮略語對照表
附錄B 各章綜合理解題參考答案
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