新型微機電系統與器件 馬宗敏 9787560665306 【台灣高等教育出版社】

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書名：新型微機電系統與器件
ISBN：9787560665306
出版社：西安電子科技大學
著編譯者：馬宗敏
叢書名：高等學校微電子類專業系列教材
頁數：312頁
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1519766
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內容簡介

本書力圖從幾類最新的感測器入手介紹新型微機電器件及系統。全書共分七章，主要內容包括：近年來微機電系統的發展、MEMS慣性器件及系統、迴音壁模式微腔器件及系統、典型水聲感測器件及系統、典型高溫壓力感測器件及系統、量子感測器件及系統、柔性感測器件及系統。 本書內容新穎，技術先進，涉及領域廣泛，具有比較高的參考價值。本書可供儀器儀錶、精密機械、感測器、電子等相關專業的高年級本科生、研究生或相關專業技術人員參考和使用。

作者簡介

馬宗敏，中北大學教授，博士生導師，中國儀器儀錶學會量子感測與精密測量分會常務理事，主要從事量子感測與精密測量方面的科研和教學工作。

目錄

第一章 微機電系統概述
1 1 微機電系統(MEMS)發展概述
1 1 1 新型MEMS發展背景
1 1 2 MEMS主要功能特點
1 1 3 新型MEMS與器件主要應用方向
1 2 新型微機電系統典型技術特點
1 3 新型微機電系統典型原理
1 4 新型微機電系統典型工藝
1 5 新型MEMS與器件發展趨勢
參考文獻
第二章 MEMS慣性器件及系統
2 1 MEMS慣性器件及系統概述
2 2 MEMS加速度計
2 2 1 電容式加速度計
2 2 2 壓阻式加速度計
2 2 3 諧振式加速度計
2 3 MEMS陀螺儀
2 3 1 固體波動陀螺儀
2 3 2 音叉振動陀螺儀
2 3 3 光柵陀螺儀
2 4 MEMS慣性開關
2 4 1 不同閾值的慣性開關
2 4 2 基於不同材料的慣性開關
2 4 3 單軸與多軸慣性開關
參考文獻
第三章 迴音壁模式微腔器件及系統
3 1 迴音壁模式微腔概述
3 1 1 迴音壁模式原理
3 1 2 迴音壁諧振腔製造
3 2 迴音壁模式微腔耦合及表徵
3 2 1 迴音壁模式微腔耦合
3 2 2 迴音壁模式微腔表徵
3 3 迴音壁模式微腔器件發展趨勢及典型應用
3 3 1 迴音壁模式有源激光器
3 3 2 迴音壁模式自注入激光器
3 3 3 迴音壁模式光學頻率梳
3 3 4 迴音壁模式超高靈敏度感測器
3 3 5 迴音壁模式微光機電陀螺
參考文獻
第四章 典型水聲感測器件及系統
4 1 水聲感測器概述及其研發背景
4 2 矢量水聽器研究歷史及現狀
4 3 纖毛式MEMS矢量水聽器仿生微結構工作原理
4 4 纖毛式MEMS矢量水聽器微結構加工工藝
4 5 纖毛式MEMS矢量水聽器封裝及電路集成
4 5 1 纖毛式MEMS矢量水聽器調理電路
4 5 2 纖毛式MEMS矢量水聽器封裝集成
4 6 纖毛式MEMS矢量水聽器室內性能測試
4 7 纖毛式MEMS矢量水聽器湖試及海試
參考文獻
第五章 典型高溫壓力感測器件及系統
5 1 壓力感測器概述
5 2 壓阻式高溫壓力感測器
5 2 1 壓阻式高溫壓力感測器基本原理
5 2 2 壓阻式高溫壓力感測器的結構與設計
5 2 3 壓阻式高溫壓力感測器的工藝設計與製備
5 2 4 壓阻式高溫壓力感測器的特點及應用
5 3 電容式高溫壓力感測器
5 3 1 電容式高溫壓力感測器基本工作原理
5 3 2 電容式高溫壓力感測器的設計與製備
5 3 3 電容式高溫壓力感測器的應用
5 4 無線無源式高溫壓力感測器
5 4 1 無線無源式高溫壓力感測器的基本工作原理
5 4 2 無線無源式高溫壓力感測器的結構與設計
5 4 3 無線無源式高溫壓力感測器的工藝設計與製備
5 4 4 無線無源式高溫壓力感測器的應用
參考文獻
第六章 量子感測器件及系統
6 1 量子感測器概述
6 2 量子感測器件與系統基本原理
6 2 1 原子磁強計
6 2 2 原子鐘
6 2 3 原子陀螺
6 3 關鍵微納工藝
6 3 1 鹼金屬氣室
6 3 2 MEMS無磁加熱溫控技術
6 3 3 微小型激光技術
6 3 4 MEMS微波天線技術
6 4 系統微裝配技術
6 4 1 芯片級原子鐘微組裝
6 4 2 芯片級原子磁強計
6 4 3 芯片級原子陀螺儀
6 4 4 固態量子磁強計
參考文獻
第七章 柔性感測器件及系統
7 1 柔性感測器功能材料
7 1 1 柔性感測器對材料的要求
7 1 2 柔性絕緣材料
7 1 3 柔性半導體材料
7 1 4 柔性導體材料
7 1 5 柔性基底材料
7 1 6 電致發光及光伏材料
7 2 柔性感測器製造工藝
7 2 1 薄膜製備工藝
7 2 2 微納圖形化工藝
7 3 典型柔性感測器及其應用
7 3 1 柔性壓力感測器
7 3 2 柔性環境感測器
7 3 3 柔性光探測器
參考文獻

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