內容簡介
本書是一本致力於陰極弧物理學及其加工工藝的專著。該書從人類認識電弧的歷史開始,對陰極放電現象進行了詳盡介紹。之後,作者沿著時間演化與技術的發展路線,逐步論述到該技術的發展現狀。在涉及基本的等離子體物理學的同時,對塗層工藝中十分棘手的「大顆粒」、等離子體源等實際問題,也進行了著重分析,並給出了一系列實用的等離子體過濾器的解決方案。 本書中的理論與數據,對從事陰極弧塗層沉積的科學技術人員具有重要的參考價值。本書也可作為表面塗層相關專業研究生的教學參考書。作者簡介
武洪臣,中國航發北京航空材料研究院研究員,等離子體物理專業理學博士,中國力學會等離子體技術專業委員會委員。多年來一直投身於航空科研生產第一線,參加、負責多項科研生產及型號攻關任務。主要從事薄膜沉積、離子注入與沉積等表面工程領域的研究。先後負責、參与「全方位等離子體源離子注入表面改性技術研究」「電子束物理氣相沉積技術」「兩機專項」基礎研究等大型課題及多項基金課題。獲多項科技成果獎,並榮立「九五」「十五」集團公司個人一等、二等功。多次率團(科研小組)出國訪問及交流培訓。2007—2008年在美國勞倫斯伯克利國家實驗室(LBNL)作訪問學者。2006年獲政府特殊津貼。目錄
第1章 緒論