硅微機械陀螺誤差建模理論與方法 申強 謝建兵 郝永存 常洪龍 苑偉政 9787030739490 【台灣高等教育出版社】

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書名：硅微機械陀螺誤差建模理論與方法
ISBN：9787030739490
出版社：科學
著編譯者：申強 謝建兵 郝永存 常洪龍 苑偉政
頁數：222
所在地：中國大陸 *此為代購商品
書號：1514040
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內容簡介

本書共9章，以硅微機械陀螺為研究對象，通過數學物理方程推導微機電系統宏模型，採用對稱拓撲設計微機械陀螺結構，制訂簡單、高效的工藝加工微機械陀螺，根據精密控制、電學知識設計微機械陀螺測控電路，從而闡明硅微機械陀螺誤差產生機理，併為減小誤差提供研究思路。本書內容新穎，簡明扼要。 本書可供微機電系統工程、儀器科學與技術、集成電路科學與工程、機械工程等專業的高年級本科生和研究生閱讀，也可供上述領域的科技人員參考。

目錄

前言
第一篇 導論
第1章 緒論
1 1 MEMS設計方法
1 1 1 自底向上設計方法
1 1 2 結構化設計方法
1 1 3 任意流程設計方法
1 2 微機械陀螺的發展
1 2 1 結構發展現狀及趨勢
1 2 2 工藝製造方法發展
1 2 3 測控電路發展趨勢
1 3 本章小結
參考文獻
第二篇 MEMS設計誤差宏建模理論與方法
第2章 可創成的MEMS設計技術
2 1 可創成的MEMS設計方法
2 1 1 設計方法架構
2 1 2 設計方法特點
2 2 可創成的MEMS設計方法關鍵技術
2 2 1 宏建模
2 2 2 參數化組件庫
2 2 3 方程自主定義
2 2 4 系統級多域異構建模與模擬
2 2 5 多尺度模擬技術
2 2 6 MEMS設計優化
2 3 本章小結
參考文獻
第3章 線性與多域耦合MEMS宏建模方法
3 1 基於Krylov子空間投影的線性宏建模方法
3 1 1 宏建模原理
3 1 2 矩匹配原理
3 1 3 SISO系統宏建模方法
3 1 4 MIMO系統宏建模方法
3 1 5 二階MEMS系統宏建模方法
3 2 Hamilton原理與Lagrange動力學方程
3 2 1 Hamilton原理
3 2 2 Lagrange動力學方程
3 3 模態疊加原理
3 3 1 線性MEMS系統的模態振型及性質
3 3 2 線性MEMS系統的模態疊加原理
3 4 多域耦合MEMS宏模型提取
3 4 1 模態選取
3 4 2 能量函數計算
3 4 3 方程組裝與宏模型輸出
3 4 4 能量法的多能域擴展
3 5 本章小結
參考文獻
第三篇 結構誤差建模理論與方法
第4章 微機械陀螺組件設計
4 1 模態耦合與解耦分析設計
4 1 1 科氏效應
4 1 2 微機械陀螺簡化動力學模型
4 2 彈性梁結構設計
4 2 1 彈性梁設計需求
4 2 2 常見的彈性梁結構
4 2 3 彈性梁彈性係數計算
4 2 4 彈性梁線性度分析
4 3 本章小結
參考文獻
第5章 微機械陀螺拓撲結構
5 1 微機械陀螺參數設計
5 1 1 驅動及檢測結構設計需求
5 1 2 梳齒結構選取
5 1 3 微機械陀螺拓撲結構設計
5 1 4 微機械陀螺的結構參數
5 1 5 微機械陀螺的性能參數計算
5 2 微機械陀螺工藝版圖
5 2 1 基於異構宏建模的微機械陀螺建模與模擬
5 2 2 微機械陀螺工藝版圖設計
5 3 本章小結
參考文獻
第四篇 工藝誤差建模理論與方法
第6章 微機械陀螺的工藝難題及影響
6 1 根切及其對微機械陀螺的影響
6 1 1 根切產生原因
6 1 2 根切對微機械陀螺的影響
6 2 黏附及其對微機械陀螺的影響
6 2 1 黏附產生原因
6 2 2 黏附對微機械陀螺的影響
6 3 划片破損及其對微機械陀螺的影響
6 3 1 划片破損產生原因
6 3 2 划片破損對微機械陀螺的影響
6 4 封裝應力及其對微機械陀螺的影響
6 4 1 封裝應力產生原因
6 4 2 封裝應力對微機械陀螺的影響
6 5 本章小結
參考文獻
第7章 基於SOI硅片的刻蝕工藝與免划片技術
7 1 基於SOI硅片的干法刻蝕工藝
7 1 1 高深寬比DRIE工藝
7 1 2 Lag效應研究
7 1 3 Footing效應研究
7 2 刻蝕技術
7 2 1 雙面刻蝕技術
7 2 2 無壓差支撐片設計
7 3 免划片技術
7 3 1 免划片技術的實現原理
7 3 2 免划片技術的版圖設計
7 4 微機械陀螺加工工藝流程
7 5 加工質量評估
7 6 本章小結
參考文獻
第五篇 測控電路誤差建模理論與方法
第8章 測控電路誤差理論分析
8 1 微機械陀螺系統基本組成
8 1 1 機械陀螺表頭
8 1 2 驅動模態控制電路
8 1 3 敏感模態檢測電路
8 2 熱啟動時間的慣性響應特性
8 2 1 高Q值下的熱啟動建模
8 2 2 熱啟動過程的頻率特性
8 2 3 Q值作用的熱啟動溫度特性
8 3 電路輸出零位組成
8 3 1 陀螺敏感模態輸出
8 3 2 阻尼不平衡零位分量
8 3 3 靜電力不平衡零位分量
8 3 4 寄生電容耦合零位分量
8 4 本章小結
參考文獻
第9章 測控電路設計方法
9 1 硅微機械陀螺介面電路設計
9 1 1 介面電路總體方案
9 1 2 介面電路模塊設計
9 1 3 電路整體模擬
9 2 振蕩抑制及溫度補償電路設計
9 2 1 敏感模態振蕩抑制電路設計
9 2 2 自檢測溫度補償電路設計
9 3 本章小結
參考文獻

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